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應用領域 | 環保,食品/農產品,化工,生物產業,電子/電池 |
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臺州5噸/小時電子超純水設備廠家的工藝簡介,基于行業標準和技術特點整理:
電子超純水制備工藝主要分為三類,5噸規模設備以反滲透(RO)+電去離子(EDI)組合工藝為主流,兼顧環保、穩定性和自動化需求:
流程:
原水 → 多介質過濾 → 活性炭過濾 → 精密過濾 → 陽床 → 陰床 → 混床 → 超純水箱 → 后置保安過濾器
特點:
初投資低,但需頻繁酸堿再生,運維成本高且污染環境14。
適用于小型實驗室或低頻次用水場景。
流程:
原水 → 預處理 → RO系統 → 混床 → 超純水箱 → 后置過濾 → 用水點
特點:
RO降低混床負荷,減少酸堿用量,但仍有部分化學再生需求14。
適用于中等規模電子工廠,平衡成本與環保性。
流程:
原水 → 預處理 → RO系統 → EDI模塊 → 超純水箱 → UV殺菌 → 后置保安過濾器 → 用水點
核心優勢:
環保性:無需化學再生,EDI通過電場連續去除離子,無二次污染24。
穩定性:RO脫鹽率≥99%,EDI產水電阻率≥15MΩ·cm,滿足半導體、光伏等高標準需求35。
自動化:PLC控制系統實時監測電導率、TOC、壓力等參數,實現無人值守14。
預處理系統
多介質過濾器:去除懸浮物、膠體、鐵銹(精度≥5μm)14。
活性炭過濾器:吸附余氯、有機物,保護RO膜性能15。
軟化器(可選):降低鈣鎂離子濃度,防止RO膜結垢(原水硬度高時必選)35。
精密過濾器:5μm濾芯,進一步保護RO膜14。
反滲透(RO)系統
高壓泵:316L不銹鋼材質,提供進水壓力(1.0-1.5MPa)14。
RO膜組:陶氏BW30-400IG DRY或同類膜,脫鹽率≥99%,產水5噸/小時35。
回收率:60-75%(根據原水TDS調整)4。
EDI精處理單元
EDI模塊:電滲析與離子交換樹脂結合,連續去除殘余離子,產水電阻率≥15MΩ·cm24。
拋光混床(可選):核級樹脂進一步除鹽,電阻率提升至≥18.2MΩ·cm(超純需求)35。
后處理與儲存
UV殺菌器:254nm波長滅活微生物,防止儲水箱二次污染35。
終端過濾:0.22μm微孔濾膜,確保顆粒物<1ppt4。
儲水箱:316L不銹鋼材質,氮氣保護或循環抑菌系統,容量≥5噸14。
參數 | 規格要求 |
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出水水質 | 電阻率≥15MΩ·cm(EDI出水),≥18.2MΩ·cm(加混床);TOC<5ppb(可選)35 |
微生物控制 | <1CFU/mL(UV+氮氣保護) |
顆粒物 | <1ppt(>0.22μm) |
材質與標準 | 預處理階段:UPVC/316L不銹鋼;后處理:316L不銹鋼/PVDF,符合SEMI F57、ISO等45 |
維護要點:
預處理:每3-6個月更換濾芯,定期清洗RO膜(酸/堿洗)45。
EDI模塊:檢查電流、電壓,防止結垢或通道堵塞25。
運行成本:
能耗:約2-3元/噸(電費+泵耗)4。
耗材:RO膜壽命3-5年,EDI模塊5-8年,混床樹脂1-2年更換
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