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合肥1噸電子超純水設備廠家的主流工藝簡介及關鍵信息:
電子超純水制備工藝主要分為三類,基于不同技術組合實現水質達標(電阻率≥18.2MΩ·cm),具體如下:
工藝流程:
原水 → 多介質過濾器 → 活性炭過濾器 → 精密過濾器 → 陽床 → 陰床 → 混床 → 超純水箱 → 后置保安過濾器 → 用水點
核心設備:
預處理系統(多介質/活性炭/精密過濾)去除懸浮物、有機物、余氯等雜質14。
離子交換樹脂床(陽床除陽離子,陰床除陰離子,混床深度除鹽)25。
特點:
優點:初期投資低,設備占地小45。
缺點:需頻繁酸堿再生(產生環保成本),維護復雜,逐步被替代24。
工藝流程:
原水 → 預處理系統 → 反滲透(RO)→ 混床 → 超純水箱 → 后置保安過濾器 → 用水點
核心設備:
反滲透膜(如陶氏BW30系列)脫鹽率≥99%,降低后續混床負荷14。
混床(復床+拋光混床)進一步去除殘余離子,提升水質25。
特點:
優點:RO減少離子交換頻率,降低酸堿用量(較傳統工藝更環保)45。
缺點:仍需部分化學再生,運維成本高于純RO工藝2。
工藝流程:
原水 → 預處理系統 → 反滲透(RO)→ EDI → 超純水箱 → 后置保安過濾器 → 用水點
核心設備:
EDI模塊:通過電場遷移離子,連續深度除鹽(無需化學再生)14。
UV殺菌器:滅活微生物,防止儲水箱二次污染25。
特點:
優點:環保無化學污染,自動化程度高,長期運行成本低34。
缺點:初期投資較高(EDI模塊成本占比大)5。
預處理系統:
必含多介質過濾(除懸浮物)、活性炭吸附(除余氯/有機物)、精密過濾(5μm)14。
可選軟化器(原水硬度高時配置)35。
終端控制:
在線監測電導率、TOC、顆粒物等參數,儲水箱氮氣保護或循環抑菌24。
后置0.22μm微孔濾器確保終端無顆粒污染35。
材質與合規性:
預處理階段:UPVC或316L不銹鋼;后處理階段:316L不銹鋼/PVDF(耐腐蝕)24。
符合SEMI F57(半導體)、ISO 9001、GMP等標準45。
工藝 | 推薦場景 | 典型水質 |
---|---|---|
傳統離子交換 | 小型實驗室、低預算項目(需容忍化學再生) | 電阻率≥0.5MΩ·cm |
RO+離子交換 | 中端電子廠、醫療用水(平衡成本與環保) | 電阻率≥5MΩ·cm |
RO+EDI | 半導體、高精度芯片、光伏(環保要求高) | 電阻率≥18.2MΩ·cm |
日常維護:
每3-6個月更換預處理濾芯,定期清洗RO膜(酸/堿洗)14。
EDI模塊需檢查電流、電壓,防止結垢或通道堵塞5。
運行成本:
RO膜壽命3-5年,EDI模塊5-8年,混床樹脂1-2年更換24。
綜合成本:傳統工藝<RO+離子交換<RO+EDI
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