合肥2噸半導(dǎo)體超純水設(shè)備廠家需結(jié)合RO+EDI+拋光混床+UV工藝，選用PVDF/316L材質(zhì)，配套全自動(dòng)控制系統(tǒng)，確保水質(zhì)符合SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)。

合肥2噸半導(dǎo)體超純水設(shè)備廠家方案

一、核心工藝設(shè)計(jì)

1. 預(yù)處理系統(tǒng)

• 多介質(zhì)過(guò)濾器：去除懸浮物、膠體、鐵銹等雜質(zhì)（精度≥5μm）。

• 活性炭過(guò)濾器：吸附余氯、有機(jī)物，防止RO膜氧化。

• 軟化器（可選）：降低鈣鎂離子濃度，防止RO結(jié)垢（原水硬度較高時(shí)必選）。

2. 反滲透（RO）系統(tǒng)

• 高壓泵：316L不銹鋼材質(zhì)，提供RO膜運(yùn)行壓力（1.0-1.5MPa）。

• RO膜組：陶氏BW30-400IG DRY或同類膜，脫鹽率≥99%，產(chǎn)水2噸/小時(shí)。

• 回收率：60-75%（根據(jù)原水TDS調(diào)整）。

3. 后處理精制單元

• 電去離子（EDI）裝置：連續(xù)去除殘余離子，出水電阻率≥15MΩ·cm。

• 拋光混床：核級(jí)混床樹(shù)脂，進(jìn)一步降低電導(dǎo)率至≥18.2MΩ·cm。

• 紫外線殺菌器：254nm波長(zhǎng)，滅殺微生物，防止儲(chǔ)水箱二次污染。

• TOC去除裝置（可選）：UV氧化或活性炭吸附，控制總有機(jī)碳＜5ppb。

4. 儲(chǔ)存與分配系統(tǒng)

• PVDF/316L不銹鋼儲(chǔ)水箱：帶氮?dú)獗Ｗo(hù)或循環(huán)系統(tǒng)，避免CO?吸收。

• 超純水分配管道：316L不銹鋼+UF過(guò)濾器，多點(diǎn)監(jiān)測(cè)電阻率（＞18.2MΩ·cm）。

二、設(shè)備技術(shù)參數(shù)

三、出水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

• 電阻率：≥18.2MΩ·cm（25°C）

• 顆粒物：＜10ppt（＞0.2μm）

• 微生物：＜1CFU/mL（UV+EDI抑制生物膜）

• 金屬離子：Na?＜10ppb，F(xiàn)e?3＜1ppb，Cu2?＜0.1ppb

• TOC：＜5ppb（可選＜10ppb）

四·合規(guī)與認(rèn)證

1. 遵循標(biāo)準(zhǔn)：

• 國(guó)際：SEMI F57（半導(dǎo)體超純水標(biāo)準(zhǔn)）、ASTM D5127（TOC檢測(cè)）5；

• 中國(guó)：電子級(jí)超純水國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 11446.1）。

2. 驗(yàn)證文件：

• DQ（設(shè)計(jì)確認(rèn)）、IQ（安裝確認(rèn)）、OQ（運(yùn)行確認(rèn)）、PQ（性能確認(rèn)）45。

五、維護(hù)要點(diǎn)

1. 日常維護(hù)：

• 檢查預(yù)處理壓差，定期更換濾芯（每3-6個(gè)月）；

• 記錄RO進(jìn)水/出水電導(dǎo)率、EDI電流、TOC值等參數(shù)15。

2. 化學(xué)清洗：

• RO膜每6-12個(gè)月酸/堿洗一次（視原水水質(zhì)）45。

3. 消毒管理：

• 儲(chǔ)水箱每周臭氧循環(huán)消毒，管道每月沖洗