湖北專業定制2噸工業超純水設備廠家工藝設計

工業超純水設備需滿足電子、半導體、光伏、電鍍等行業的嚴苛水質要求（如電阻率≥18.2MΩ·cm），以下為典型工藝流程及關鍵特點：

一、工藝流程

1. 預處理階段

• 多介質過濾器：去除懸浮物、膠體、鐵銹等大顆粒雜質（過濾精度5-10μm）。

• 活性炭過濾器：吸附余氯、有機物、異味，降低TOC（總有機碳）。

• 軟化器（可選）：通過離子交換樹脂降低鈣鎂離子濃度，防止反滲透膜結垢。

• 精密過濾器：5μm濾芯攔截微小顆粒，保護反滲透膜。

• 可選：除鐵錳過濾器（若原水含鐵錳較高）。

2. 核心凈化階段

• 高壓泵加壓至1.0-1.2MPa，水通過反滲透膜（如陶氏BW30-400），脫鹽率≥99%，截留微生物、溶解性鹽類。

• 中間水箱：儲存RO產水，配備液位控制及氮封裝置（防止CO?污染）。

• 一級反滲透（RO）：

• 二級反滲透（可選）：進一步提升水質，適用于原水水質較差或高標準場景。

3. 深度除鹽與拋光

• 采用陰陽樹脂混合床，進一步去除痕量離子，確保出水電阻率≥18.2MΩ·cm。

• 在電場作用下，淡室中的離子交換樹脂再生，持續去除RO產水中的殘留離子（電阻率提升至15-18MΩ·cm）。

• 電去離子（EDI）：

• 拋光混床（可選）：

4. 后處理與滅菌

• 紫外線殺菌（UV）：254nm波長紫外線殺滅99%以上細菌和病毒。

• 終端精密過濾：0.22μm或0.1μm微孔濾膜，攔截微粒及微生物尸體。

• 臭氧消毒（可選）：對儲水箱進行周期性臭氧殺菌，防止微生物滋生。

5. 儲存與分配系統

• 不銹鋼無菌水箱：316L材質，配備氮封、呼吸器，避免空氣微生物污染。

• 循環殺菌系統：通過巴氏消毒或紫外線循環，保持儲水水質穩定。

二、設備特點

1. 超高水質

• 出水電阻率≥18.2MΩ·cm，滿足半導體、電子級超純水標準（如SEMI C18、ASTM D5127）。

• 可選配TOC去除裝置（如活性炭+UV聯合工藝），控制總有機碳≤5ppb。

2. 高效節能

• 反滲透+EDI組合工藝，減少化學再生消耗（如酸堿用量降低90%）。

• 回收率可達75%-90%（根據原水水質調整），節約水資源。

3. 自動化控制

• PLC+觸摸屏集成控制，實時監測電導率、pH、TOC、溫度、壓力等參數，故障自動報警。

• 支持遠程監控與數據記錄，便于維護和合規管理。

4. 靈活配置

• 預處理步驟可根據原水水質定制（如增加除硼過濾器、紫外線氧化等）。

• 可選配二級反滲透、拋光混床、氮封水箱等模塊，滿足不同行業標準。

三、技術參數示例

四、應用場景

• 半導體/芯片制造：晶圓清洗、蝕刻工藝用水。

• 光伏/液晶顯示：硅片清洗、液晶灌注用水。

• 電子化學品生產：高純試劑配制、實驗室分析。

• 電鍍/表面處理：鍍液配制、產品清洗。

總結

湖北專業定制2噸工業超純水設備廠家通過“預處理+反滲透+EDI+拋光混床+滅菌"組合工藝，實現高效、穩定的超純水制備，滿足工業領域對水質的要求。實際設計需根據原水水質、行業標準及預算優化配置。