臭氧的產生方式主要有：電暈法、電解法、紫外線法、核輻射法、等離子體法等等。食品、醫院及制藥等企業已經投入應用的臭氧發生技術主要有電暈放電法和電解法。

通常都借助無聲放電作用從氧氣或空氣制備臭氧，臭氧發生器即根據這一原理制造。利用臭氧和氧氣沸點的差別，通過分級液化可得濃集的臭氧。在紫外線輻射下，通過電子放射或暴曬從雙原子氧氣可自然形成臭氧。

工業上，用干燥的空氣或氧氣，采用5 ~ 25 kV的交流電壓進行無聲放電制取。另外，在低溫下電解稀硫酸，或將液體氧氣加熱都可制得臭氧。