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| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 醫療衛生,食品/農產品,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷 |
Edwards愛德華高級干式半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
產品簡介
詳細介紹
Edwards愛德華IXH系列半導體干式真空泵維修保養
Edwards愛德華高級干式半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和xing能。
edwards iXH 系列干泵產品是 Edwards 的市場 iH 產品的換代升級，為嚴苛制程能力 樹立了新標準，它在世界上的許多 300mm 半導體和平板 工廠內通過提高制程可靠xing實現低擁有成本。
可滿足 FPD、太陽能、 半導體和 LED 制造業中日益提高的氣體流量要求的完美大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性 以確保在嚴苛制程中具有大可靠xing。
Edwards愛德華IXH系列半導體干式真空泵產品型號：
IXH100、 IXH200、 IXH200H、 IXH500H、 IXH500Q 、IXH610、 IXH645H、 IXH1210、 IXH1210H、 IXH1220H、 iXH1220HTX、iXH1820、 iXH1820T、iXH1820H、 iXH6045HT、IXH3030T、IXH3045H、IXH4545HT、,IXH4550、IXH3030,
愛德華IXH系列半導體干式真空泵維修保養
Edwards愛德華IXH系列半導體干式真空泵參數：
