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| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 醫療衛生,食品/農產品,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷 |
Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性
產品簡介
詳細介紹
Edwards愛德華iH系列晶圓半導體干式真空泵維修保養
Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠xing。
iH 系列真空泵為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠xing。
Edwards愛德華iH 系列半導體干式真空泵產品型號：iH80 iH160 iH1000 iH1800
英國愛德華 Edwards半導體 iH80技術參數：
iH1800HTX技術參數：
英國愛德華 Edwards半導體 iH80應用行業：
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
愛德華iH系列晶圓半導體干式真空泵維修保養
英國愛德華 Edwards半導體 iH80產品功能和優勢：
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定xing。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。