SU8200系列日立高新場發射掃描電子顯微鏡采用日立高新技術公司全新開發的冷場電子槍，實現超高分辨率下觀察的同時，穩定的束流亦可滿足長時間下的分析需求。在日立高新的新型冷場發射掃描電鏡(FE-SEM)SU8200系列中，有SU8220、SU8230、SU8240三款機型，于5月20日開始發售。

SU8200系列日立高新場發射掃描電子顯微鏡主要特點：

日立高新新研發的冷場電子槍

利用電子槍轟擊后的高亮度穩定期，高分辨觀察和分析兼顧

大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)

通過頂部過濾器(選配項)實現多種材料對比度可視化