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SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)
【SID4-UV波前分析儀簡介】
隨著光波波前探測技術的發展，各種波前傳感器應運而生。從測量原理上可以分成兩類：一類是根據幾何光學原理，測定波前幾何像差或面型誤差，主要有Shack－Hartmann 波前傳感器，曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等；另一類是基于干涉測量原理，探測波前不同部分的干涉性，來獲取波前信息，主要有剪切干涉儀波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標準鏡;它們結構簡單，抗干擾能力強，條紋穩定。SID4-UV波前分析儀是測量光學元件和光束波前質量的一種很好的替代傳統干涉儀的方法。SID4-UV波前分析儀作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV波前分析儀非常適合于紫外光學測量，包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。
【關于Phasics】
Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專業經驗與*的波前測量技術為客戶提供全面的高性能波前傳感器。
一、 SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)主要特點
250 x 250超高相位取樣分辨率
2 nm RMS高相位靈敏度
紫外波段波前測量的通用解決方案
非準直光入射
消色差
二、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀產品應用
波前像差測量
基于四波剪切技術，Phasics 的波前傳感器同時提供具有高分辨率的相位和強度測量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結合，可提供完整的激光診斷：波前像差、強度分布、激光光束質量參數（M2、束腰尺寸和位置等）。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學裝置的任何一點，無論光束是準直的還是發散的。作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV非常適合于紫外光學測量，包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。
MTF測量
SID4系列波前傳感器可以配合用戶自行搭建的光路系統進行像質評價，只需一次直接拍攝，就可以通過軟件后處理測量參數(PSF, MTF, Zernike系數)。如果不能自行搭建光路系統，也可以進一步了解Kaleo Kit 套裝等產品測量MTF等產品。
三、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀應用領域
紫外光學測量| 光刻或半導體應用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測| 自適應光學| 等離子體密度
四、SID4-UV波前分析有/波前傳感器主要規格
波長范圍 | 250-400nm |
| 靶面尺寸 | 7.4 x 7.4 mm2 |
| 空間分辨率 | 29.6 µm |
| 取樣分辨率 | 250 x 250 |
| 相位分辨率 | 2 nm RMS |
| 絕對精度 | 10 nm RMS |
| 采集速率 | 30 fps |
| 實時處理速度 | > 2 fps (全分辨率下) |
五、與夏克-哈特曼波前傳感器對比
六、更多參數選型
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