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更新時(shí)間：2025-02-06 16:17:42
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陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡
昊量光電新推出用于微電子、半導(dǎo)體、絕緣材料、地質(zhì)學(xué)和礦物學(xué)材料測(cè)量的法國(guó)NewTec陰極射線顯微鏡。陰極發(fā)光是一種光譜方法，它可以在局部尺度上識(shí)別缺陷和雜質(zhì)，這些缺陷和雜質(zhì)與被電子槍轟擊的材料的發(fā)光特性有關(guān)。陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡
陰極射線顯微鏡組成：
- 配有相機(jī)的光學(xué)顯微鏡(低亮度)
- 裝有電動(dòng)樣品支架的真空室
- 雙層真空泵及附件
- 帶電纜電子槍
- 電源控制器及控制軟件
陰極射線顯微鏡特點(diǎn)：
- 等離子體穩(wěn)定控制
- 自動(dòng)擊發(fā)
- 半定量測(cè)量
- 分光計(jì)定量測(cè)量
- 極限空間分辨率<1um
- 可選項(xiàng)：加熱and/or冷卻
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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