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氣浮旋轉(zhuǎn)臺
  • 氣浮旋轉(zhuǎn)臺
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-02-24 13:42:57

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AURT系列氣浮旋轉(zhuǎn)臺采用經(jīng)過特殊設(shè)計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動都是無接觸的,因此在整個使用壽命之內(nèi),設(shè)備的性能保持不變,并且無需進行特殊維護。該旋轉(zhuǎn)臺采用氣體軸承可提供平穩(wěn)的運動并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。

 

氣浮旋轉(zhuǎn)臺

  • 產(chǎn)品圖片
  •  
  • 可定制化高精度氣浮轉(zhuǎn)臺

所屬類別:光機產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) » 壓電精密定位系統(tǒng)

 

氣浮旋轉(zhuǎn)臺

可根據(jù)客戶要求進行定制                         

AURT系列氣浮旋轉(zhuǎn)臺采用經(jīng)過特殊設(shè)計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動都是無接觸的,因此在整個使用壽命之內(nèi),設(shè)備的性能保持不變,并且無需進行特殊維護。該旋轉(zhuǎn)臺采用氣體軸承可提供平穩(wěn)的運動并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的氣浮旋轉(zhuǎn)平臺主要分為AURT-S和AURT-U兩個系

1)AURT-S系列氣浮旋轉(zhuǎn)平臺在緊湊的體積中包含空氣軸承,電機和編碼器,可實現(xiàn)出色的角度定位和速度穩(wěn)定性,大孔徑便于滑環(huán)的集成、光學(xué)或其它需要光路直通的應(yīng)用;例如X射線和光學(xué)檢測應(yīng)用。AURT-S系列包含以下五款產(chǎn)品。

①AURT-075S和AURT-100S兩款氣浮轉(zhuǎn)臺是AURT-S系列中較緊湊的產(chǎn)品。這兩款空氣軸承轉(zhuǎn)臺不但擁有緊湊的體積還可以提供優(yōu)異的運動精度和性能. 可*的用在小型設(shè)備和多軸運動系統(tǒng)的θ軸。該氣浮轉(zhuǎn)臺輕巧緊湊的設(shè)計是高動態(tài)和精確定位應(yīng)用中的*解決方案。

 

②AURT-150S是一款中檔的旋轉(zhuǎn)平臺,具有出色的載重能力和低誤差的運動性能。低高度和大孔徑使該旋轉(zhuǎn)臺成為測量和檢測應(yīng)用中的首要選擇。

 

③AURT-250S和AURT-500S是兩款大剛度大載重量的氣浮旋轉(zhuǎn)臺。AURT-250S氣浮轉(zhuǎn)臺負載能力達到80kg,該平臺在軸向和徑向擁有極小的誤差,和*的平穩(wěn)度。AURT-500S是一款超大載重量的空氣軸承轉(zhuǎn)臺,載重量高達8300N,并且擁有極低的運動誤差,集成一個高分辨率編碼器可實現(xiàn)穩(wěn)定的定位和速度跟蹤。

 

2)AURT-U系列氣浮轉(zhuǎn)臺是同類產(chǎn)品中性能很好的產(chǎn)品。具有超低的運動誤差(低于20nm)。追求*的設(shè)計融合了的性能。該系列的代表產(chǎn)品是AURT-150U,是款超精密氣浮旋轉(zhuǎn)平臺

 

此外提供高精度的復(fù)雜運動和定位方案:

提供不同應(yīng)用中需要的定位平臺、控制器和相關(guān)軟件

 

  • Ø整體解決方案 

  • Ø定制化解決方案 

  • Ø復(fù)雜的多軸與并聯(lián)運動系統(tǒng) 

  • Ø超精密空氣與機械軸承 

  • Ø軟件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……

 

產(chǎn)品特點:

  • 優(yōu)異的重復(fù)精度
  • 超低軸向、徑向誤差
  • 采用空氣軸承,無需維護
  • 超高運動平穩(wěn)度
  • 可按客戶要求進行定制

主要應(yīng)用

l   圓度測量系統(tǒng)

l   微米或納米斷層掃描成像

l   精密制造

l   同步輻射或X射線

l   半導(dǎo)體行業(yè)

  • 產(chǎn)品參數(shù):

Air Bearing

 

Units

AURT075S

AURT100S

AURT150S

AURT250S

AURT500S

AURT150U

max. axial load

N

137

206

434

804

8300

726

max. radial load

N

51

78

226

452

2570

264

axial stiffness

N/μm

68

103

217

402

1660

242

radial stiffness

N/μm

25

39

113

226

514

88

tilt stiffness

Nm/mrad

33

90

455

2380

37.4

204

rad. err. motion

nm LSC

<100

<100

<100

<100

<100

<20

axial err. motion

nm LSC

<50

<50

<50

<50

<50

<20

air consumption

NL/min

<4

<8

<10

<15

<100

<20

angular accuracy

arcsec

±13.8

±10.3

±6.9

±4.0

±2.9

±6.9

Motor & Encoder

nominal torque

Nm

0.04

0.13

0.45

1.5

3.0

0.5

peak torque

Nm

0.13

0.40

1.35

4.5

9.0

1.5

max. speed

rpm

300

200-1200

200-800

120

60

200

encoder

periods

11840

15744

23600

40000

47200

23600

 

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