首頁 >> 供求商機
二維MEMS掃描鏡
微機電掃描鏡, 又稱MEMS掃描鏡，是通過電機驅動鏡面傾斜，從而對光束實現偏轉控制的器件。相比掃描振鏡等常見的光束掃描器件，MEMS掃描鏡具有體積小、重量輕、功耗低、對環境影響不敏感等特點，而且MEMS掃描鏡可與位置傳感器集成使用，實現更高的定位精度。
微機電掃描鏡, MEMS掃描鏡，MEMS Mirror, MicroMirror, Microscanner, Micro-scanning Mirror
二維MEMS掃描鏡
這款無轉向節*采用單晶硅材料制成。該中不含有任何移動的金屬、塑料和線圈等部件，也沒有易于發生故障的壓電或電磁促動器，所以該具有很高的位置重復精度與可靠性。同時，這款*由免維護的純彈性材料(單晶硅)構成,并*采用靜電驅動方式，因此工作過程中沒有電流。這款無轉向節可實現大角度、超快二維光束掃描。二維掃描角度可達32度，并且功耗極低，僅1mW。該采用線性驅動方式和四象限可尋址靜電梳驅動設計，保證了很好的電壓與角度的線性度。
主要特點：
l 模擬電壓控制可實現任意角度偏轉；
l 點到點光束掃描，驅動電壓與掃描角度一一對應；
l 模塊設計方便選擇各種不同尺寸的鏡面，以根據不同應用實現優化；
l 同時在XY兩個方向實現高速掃描
l 動態模式掃描，XY兩個方向大角度掃描(e.g. -160 to 160)
主要參數：
Integrated Mirror Devices | Bonded Mirror Devices |
鏡面大小: 0.8mm, 1.2mm, 1.6mm, 20.mm and 2.4mm diameter always in stock | 鏡面大小: 2.0, 2.4, 3.0, 3.6, 4.2, and 5.0mm diameter in stock, larger possible in special orders. |
點到點驅動模式zui大傾斜角度: -6° to +6° mechanical each axis, varies with design type. | 點到點驅動模式zui大傾斜角度: -6° to +6° mechanical on each axis, varies with design type. |
共振驅動模式zui大傾斜角度： -7° to +7° mechanical | 共振驅動模式zui大傾斜角度: -7° to +7° mechanical, varies with design type. |
| |
MEMS掃描鏡驅動控制器：
MEMS掃描鏡整套系統開發包：
開發包標準配置：
u 3個
u 配套軟件
u USB MEMS控制器
u 安裝支架
u 光學面包板
u 5mW 635nm 紅光激光器
可根據客戶要求，定制配置方案
9