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桌面式半導體快速退火爐

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號 RTP-Table-6
  • 品牌 晟鼎
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 東莞市
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更新時間:2024-02-04 13:47:25瀏覽次數:829

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產品簡介

桌面式半導體快速退火爐,RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設備,標配三組工藝氣體,可最大兼容6英寸晶圓Wafer。

詳細介紹

桌面式半導體快速退火爐,RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設備,標配三組工藝氣體,可最大兼容6英寸晶圓Wafer。

桌面式半導體快速退火爐的產品優勢

?紅外鹵素燈管加熱,冷卻采用風冷;

?采用快速PID溫控,可精準控制溫度升溫,保證良好的重現性和溫度均勻性;

?采用平行氣路進氣方式,氣體進出口設置在晶圓表面,避免退火過程中冷點產生,保證良好的溫度均勻性;

?大氣與真空處理方式均可選擇,實現進氣前氣體凈化處理。

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晟鼎與華南理工大學聯合創建等離子技術聯合實驗室,所有產品系列皆通過CE認證。

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