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半自動快速退火爐

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號 RTP-SA-12
  • 品牌 晟鼎
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 東莞市
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更新時間:2024-02-04 13:45:02瀏覽次數:607

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產品簡介

溫度范圍 室溫~1250℃ 最高升溫速度 ≤25℃/s(SiC載盤)
溫控方式 快速PID溫控 溫度控制重復性 ±1℃
半自動快速退火爐RTP-SA-12是在保護氣氛下的半自動立式快速退火系統,可兼容4-12英寸晶圓Wafer。

詳細介紹

半自動快速退火爐RTP-SA-12是在保護氣氛下的半自動立式快速退火系統,可兼容4-12英寸晶圓Wafer。

半導體快速退火爐的產品優勢

?采用紅外鹵素燈管加熱,冷卻采用風冷;

?快速PID溫控,可精準控制溫度升溫,保證良好的重現性和溫度均勻性;

?采用平行氣路進氣方式,氣體進出口設置在晶圓表面,避免退火過程中冷點產生,保證良好的溫度均勻性;

?大氣與真空處理方式均可選擇,實現進氣前氣體凈化處理;

?標配兩組工藝氣體,最多可擴展至6組工藝氣體。

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晟鼎精密核心產品系列有接觸角測量儀、等離子清洗機、USC干式超聲波除塵清洗機、離子靜電消除裝置、半導體快速退火爐等表面性能處理及檢測儀器設備。

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