目錄:深圳市新瑪科技有限公司>>紅外光譜儀/顯微鏡>>電子顯微鏡>> 國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡
| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 500萬-700萬 |
|---|---|---|---|
| 儀器分類 | FIB |
國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具，低電壓高分辨的電子鏡筒，保證納米分析能力。“承影"離子鏡筒提供了高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機械手、氣體注入器，一體化設計的控制軟件，為您打造全能納米分析和加工中心。
國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡
1、高壓隧道技術和無漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品
2、“承影"離子鏡筒，高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣
3、樣品倉內(nèi)壓電陶瓷驅動的機械手，集成式控制方式，操作精準到位
4、自主可控，擴展性強，集成化設計的離子源更換時間快，良好的售后服務
| 電子束系統(tǒng) | 電子槍類型 | 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍 |
| 分辨率 | 0.9 nm@15 kV | |
| 加速電壓 | 20 V ~ 30 kV | |
| 離子束系統(tǒng) | 離子源類型 | 液態(tài)鎵離子源 |
| 分辨率 | 3 nm@30 kV | |
| 加速電壓 | 500 V ~ 30 kV | |
| 樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動控制，無油真空系統(tǒng) |
| 攝像頭 | 三攝像頭 | |
| （光學導航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控x2） | ||
| 樣品臺類型 | 五軸機械優(yōu)中心樣品臺 | |
| 樣品臺行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探測器和擴展 | 標配 | 鏡筒內(nèi)電子探測器(Inlens) |
| 旁側二次電子探測器（ETD） | ||
| 選配 | 插入式背散射電子探測器（BSED） | |
| 插入式掃描透射探測器（STEM） | ||
| 能譜儀（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 納米機械手 | ||
| 氣體注入器 | ||
| 等離子清洗 | ||
| 樣品交換倉 | ||
| 軌跡球&旋鈕控制板 | ||
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統(tǒng) | Windows | |
| 導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
"承影"離子鏡筒
技術特點
分辨率：3 nm@30 kV
探針電流：1 pA~65 nA
加速電壓范圍：500 V~30 kV
使用壽命：≥1000小時
長時間穩(wěn)定性：72小時不間斷工作
納米機械手
技術特點
倉內(nèi)安裝方式
全壓電驅動
編碼精度≤10nm
最大移動速度2mm/s
集成式控制方式
離子束-電子束協(xié)同
氣體注入器
單氣體注入
多種氣源可選
伸縮距離≥35 mm
重復定位精度≤10 um
加熱溫度控制精度≤0.1℃
加熱溫度范圍：室溫~90℃
集成式控制方式
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