國儀量子SEM3200鎢燈絲掃描電子顯微鏡 是一款綜合能力優秀的通用型立式鎢燈絲掃描電鏡。特別的電子槍雙陽極結構，保證了低電壓下的分辨率和更好的圖像信噪比。另外有諸多的可選配附件選擇，使得國儀量子SEM3200鎢燈絲掃描電子顯微鏡成為了一款應用廣泛的綜合分析儀器。

產品特點（*為選配件）

低電壓

碳材料樣品，低電壓下，穿透深度較小，可以獲取樣品表面真實形貌，細節更豐富。

毛發樣品，在低電壓下，電子束輻照損傷減小，同時消除了荷電效應。

低真空

過濾纖維管材料，導電性差，在高真空下荷電明顯，在低真空下，無需鍍膜即可實現對不導電樣品的直接觀察。

大視場

生物樣品，采用大視場觀察，能夠輕松獲得瓢蟲整體形貌及頭部結構細節，展現跨尺度分析。

導航&防碰撞

光學導航

想看哪里點哪里，導航更輕松
標配倉內攝像頭，可拍攝高清樣品臺照片，快速定位樣品。

手勢快捷導航

可通過雙擊移動、鼠標中鍵拖動、框選放大，進行快捷導航
如框選放大：在低倍導航下，獲得樣品的大視野情況，可快速框選您感興趣的樣品區域，提高工作效率。

防碰撞技術

采取多維度的防碰撞方案：
1. 手動輸入樣品高度，精準控制樣品與物鏡下端距離，防止發生碰撞；
2. 基于圖像識別和動態捕捉技術，運動過程中對倉內的畫面進行實時監測；
3. 硬件防碰撞，可在碰撞一瞬間停止電機，減少碰撞損傷。(*SEM3200A需選配此功能）

特色功能

智能輔助消像散

直觀反映整個視野的像散程度，通過鼠標點擊清晰處，可快速調節像散至最佳。

自動聚焦

一鍵聚焦，快速成像。

自動消像散

一鍵消像散，提高工作效率。

自動亮度對比度

一鍵自動亮度對比度，調出灰度合適圖像。

多種信息同時成像

SEM3200軟件支持一鍵切換SE和BSE的混合成像。可同時觀察到樣品的形貌信息和
成分信息。

快速圖像旋轉

拖動一條線，圖像立刻“擺正角度"。

豐富拓展性

掃描電子顯微鏡不僅局限于表面形貌的觀察，更可以進行樣品表面的微區成分分析。
SEM3200接口豐富，除支持常規的二次電子探測器（ETD）、背散射電子探測器（BSED）、X射線能譜儀（EDS）外，也預留了諸多接口，如電子背散射衍射（EBSD）、陰極射線（CL）等探測器都可以在SEM3200上進行集成。

背散射電子探測器
二次電子成像和背散射電子成像對比

背散射電子成像模式下，荷電效應明顯減弱，并且可以獲得樣品表面更多的成分信息。

鍍層樣品：

鎢鋼合金樣品：

四分割背散射電子探測器——多通道成像

探測器設計精巧，靈敏度高，采用4分割設計，無需傾斜樣品，可獲得不同方向的陰影像以及成分分布圖像。

四個單通道的陰影像

成分像

能譜

LED小燈珠能譜面分析結果。

電子背散射衍射

鎢燈絲電鏡束流大，滿足高分辨EBSD的測試需求，能夠對金屬、陶瓷、礦物等多晶材料進行晶體取向標定以及晶粒度大小等分析。
該圖為Ni金屬標樣的EBSD反極圖，能夠識別晶粒大小和取向，判斷晶界和孿晶，對材料組織結構進行精確判斷。

產品參數

●標配 ○選配 / 無

應用案例