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電源

AC 208~240V，單相 50/60Hz

紫外燈

• 可發出雙波長的水銀燈
• 功率：55W
• 發出光的波長：254 nm 和 185 nm 
• 使用壽命：2500 小時（可在本公司購買紫外燈來更換）
• 照射區域：200 x 200 mm

腔體&樣品臺

• 不銹鋼殼體
• 抽屜式樣品臺，以便放樣取樣
• 樣品臺面積310 mm x 320 mm
• 臭氧通風裝置安裝在腔體上
• 樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調）
• 樣品臺可以加熱，zui高溫度可達150℃
• 可設置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃
• 設備運行時間：0.01 秒- 99.9小時

排氣口

• 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
• 請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外
• 儀器中不包含橡膠管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
 

凈重

28kg

質保期

一年質保期，終生維護（不包含紫外燈）

應用

• 去除分子級別的污染物
• 紫外光固化粘合劑
• 紫外光催化
• 氧化PDMS
• 表面消毒
• 刻蝕
• 清洗MEMS 器件
• 清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片