北京博賽德科技有限公司
半導(dǎo)體制程廠區(qū)與設(shè)備環(huán)境 AMC 監(jiān)測解決方案
檢測樣品：生產(chǎn)車間空氣樣品
檢測項目：揮發(fā)性有機物
方案概述：北京博賽德科技有限公司自主研發(fā)生產(chǎn)的 BCT-AMC系列，半導(dǎo)體制程環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)， 涵蓋在線監(jiān)測、實驗室分析、機臺現(xiàn)場溯源分析等多個場景的，更多有機物物種的精確 全定量分析，分析過程高度自動化與集成化，配合專用的 AMC 污染數(shù)據(jù)庫與處置方案庫， 在 AI 技術(shù)的加持下，真正解決品管部與微污染控制部的切實問題。
方案概述
在人工智能和高效能運算需求的推動下，在第四代半導(dǎo)體材料與芯粒技術(shù)的發(fā)展下， 芯片線寬已由 70nm 迅速進入 7nm 以下時代。30nm 以下的生產(chǎn)過程中，痕量氣態(tài)分 子污染物（AMC）檢測的重要性，已上升到非常重要的高度。
AMC 監(jiān)測的痕量精準化、監(jiān)測全面化、大數(shù)據(jù)自動分析化，AI 智能管控化理念的引 入，對降低 AMC 造成的良率沖擊，起到至關(guān)重要的作用。
北京博賽德科技有限公司自主研發(fā)生產(chǎn)的 BCT-AMC系列，半導(dǎo)體制程環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)， 涵蓋在線監(jiān)測、實驗室分析、機臺現(xiàn)場溯源分析等多個場景的，更多有機物物種的精確 全定量分析，分析過程高度自動化與集成化，配合專用的 AMC 污染數(shù)據(jù)庫與處置方案庫， 在 AI 技術(shù)的加持下，真正解決品管部與微污染控制部的切實問題。
典型場景
1、制程點 - 在線自動化 AMC（VOCs）精準分析系統(tǒng)
生產(chǎn)監(jiān)測點布點在線監(jiān)測：
• 使用超凈 PFA 采樣管進行廠區(qū)布點，監(jiān)測范圍可達 35000m2~75000m2
• 自動采樣、濃縮、GC-MS 分析、云端存儲、AI 自動生成檢測報告，并帶有超閾報警功能
• 7×24 小時排程自動化監(jiān)測
• 全流程全部件惰性化涂覆，避免殘留與吸附
• 專用捕集系統(tǒng)與聚焦系統(tǒng)，大幅提升檢出線，峰形更銳利
2、疑似點 - 實驗室 AMC（VOCs）精準分析系統(tǒng)
疑似點手工采樣實驗室分析：
• 系統(tǒng)用于實驗室中，基于捕集能力強、去除雜質(zhì)能力強、抗吸附能力強、進樣精確度高、各氣路專用、全流程無冷點、清洗非常干凈等特點，共同作用，得到更低的檢出限
• 未知成分分析定量：系統(tǒng)可對樣本進行物質(zhì)全分析
• 專為半導(dǎo)體企業(yè)開發(fā)的 AMC（VOCs）物質(zhì)檢測方法包
• 檢測時效性強：快速定性定量污染物質(zhì)，及時發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭
晶圓石英加熱爐，加熱揮發(fā)進樣：
• 專為半導(dǎo)體企業(yè)開發(fā)的 AMC（VOCs）物質(zhì)檢測方法包
• 檢測時效性強：快速定性定量污染物質(zhì)，及時發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭
3、工作臺 - 便攜式 AMC（VOCs）精準分析系統(tǒng)
工作臺 - 污染溯源分析：
• 分析快速
單質(zhì)譜走航模式，儀器不經(jīng)過色譜柱直接進入質(zhì)譜，秒級分析，實時出具數(shù)據(jù)。
• 靈敏度高
針對性溯源，靈敏度更高：單質(zhì)譜模式，秒級響應(yīng)，實時動態(tài)顯示污染情況， 必要時可篩選離子使用 SIM 模式開展針對性走航。
膜進樣技術(shù)使得樣品進入質(zhì)譜前可以進行二次富集，提高靈敏度
• 溯源精準
全新走航模式，深入車間，直指源頭
相對傳統(tǒng)走航設(shè)備質(zhì)量更輕、抗震性更強，在傳統(tǒng)走航的基礎(chǔ)上可進一步進入車間，精準溯源至污染產(chǎn)生工藝點位，幫助企業(yè)實現(xiàn)污染點的治理。
• 結(jié)果準確
雙重工作模式：走航模式 +GC-MS 定點分析模式
使用 70eV EI 源 + 四級桿質(zhì)譜定性定量，充分電離空氣中的 VOCs，依托標準 NIST 譜庫，準確定性；國標加持，結(jié)果與實驗室可比。
• 環(huán)境適用性強
非機械泵真空系統(tǒng)，環(huán)境適用性更強
摒棄高速旋轉(zhuǎn)組件，采用非機械真空泵，解決多維大幅振動中無法運行檢測等問題。
數(shù)據(jù)結(jié)果與檢測譜圖
半導(dǎo)體制程廠區(qū)與設(shè)備環(huán)境 AMC 監(jiān)測解決方案介紹完畢，欲了解更多信息，請聯(lián)系我們 ！
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