珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司
使用NexION 5000 SP-ICP-MS分析半導體級硫酸中的金屬納米顆粒
檢測樣品：半導體級硫酸
檢測項目：金屬納米顆粒
方案概述：在本實驗中，NexlON5000多重四極桿ICP-MS用于分析1%硫酸中的納米顆粒污染，以證明其適用于半導體行業中使用的工藝化學品的常規實驗室分析。
電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)作為一種多元素檢測技術，具有靈敏度高、樣品類型靈活(氣體、液體和固體)、測量速度快、線性動態范圍寬等優點。在單顆粒模式下運行的ICP-MS(SP-ICP-MS)已被證明是一種用于檢測和測量納米顆粒(NP)的強大技術，能夠測定多種納米顆粒特征，如無機成分、濃度、粒徑、粒徑分布和聚集。
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