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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>原子層沉積設備> 粉末原子層沉積系統ALD

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粉末原子層沉積系統ALD

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北京盈思拓科技(Instonetech) 有限公司是材料研究領域的技術服務提供商。 Instone是Institute、Instrument、Instant的縮寫,代表公司秉承專業、高效的經營理念,為科研用戶提供技術服務。

公司深耕國內科研市場近十年,以中科院等專業院所背景的技術力量為依托, 為國內各大科研機構及材料研究客戶提供科研儀器設備和專業技術服務。公司以代理國內外材料化工方向的儀器設備為核心業務,產品覆蓋材料制備、表征、光、熱、 電、磁等研究領域。

公司在提供專業儀器設備的基礎上,根據客戶的不同需求,提供“從0到1”的咨詢和建設服務(實驗室設備及家具布局、通風、潔凈及氣路等),為新能源電池、電子陶 瓷、半導體材料、高分子材料等用戶提供一站式解決方案。

此外,公司旗下擁有友研精密加工平臺,并擁有專業的技術工程師為實驗設備提供 系統集成服務,提升科研實驗的自動化水平,為用戶提供增值服務。



技術服務、一般項目:技術開發、技術咨詢、技術交流

 型號:AT-200MPlus等離子體增強+熱原子層沉積

技術參數:

尺寸小到可以放到手套箱

粉末涂層可選

放置2英寸x2英寸x3英寸或兩個2英寸圓片(可定制的卡盤和我們的粉末涂層選項)的樣品。

全不銹鋼腔室,溫度范圍可達300°C

靜態處理模式下可實現高曝光

集成PLC控制5英寸顯示屏

選項:真空泵、臭氧發生器(AT-03),瓶加熱器,QCM,遠程PC控制

 

設備特點:

1. 臺式ALD原子層沉積,占地面積小;

2. 熱型并且可升級等離子體加強功能;

3. 可以選配粉末包裹功能,特別適合電池研究領域的客戶;

4. 體積到可以直接放到手套箱里面操作,特別適合電池研究領域的客戶;

5. 操作安裝極其簡單,便于實驗室不同人員操作實驗。

 

應用領域:

 

特別推薦在能源領域的應用

 

1. 鋰離子電池領域的應用

原子層沉積(ALD)由于其共形沉積和簡單精確的膜厚控制特點,在納米結構的納米級薄膜包裹方面有著巨大的優勢和應用前景。大量的研究表明,采用ALD對電極材料進行納米級薄膜包裹,能夠有效地改性電池材料、提高電池性能。除此之外,ALD還可以用來合成制備鋰離子電池的正極、負極和固態電解質材料。

 

2. ALD在太陽能電池領域的應用

ALD技術在太陽能電池領域的應用主要包括:①納米結構光電極的制備;②電極表面修飾鈍化;③通過量子點或是金屬納米顆粒對電極表面進行敏化;④對染料敏化太陽能電池和薄膜太陽能電池進行能帶調控。

 

3. ALD在超級電容器領域的應用

ALD技術不僅能夠用來制備高比容量的電極活性材料,也能制備納米結構,穩定和提升電極材料的性能,在高容量、高穩定的超級電容器領域發揮出重要的作用。

 

4. ALD在燃料電池領域的應用

ALD在燃料電池領域有著廣泛的應用:可以通過調節金屬催化劑的成分(如雙金屬納米顆粒)、金屬納米顆粒的大小來獲得適用于燃料電池的高活性催化劑;②在納米結構上沉積金屬顆粒來制備燃料電池的陽極;③制備高性能的固體電解質,以降低燃料電池的工作溫度;④在電極表面形成保護層提高電池的穩定性和性能。

 

5. ALD在光電化學分解水領域的應用

ALD技術由于其生長特性,不僅可以制備光活性層,還可以在光電極上沉積性能增強層或穩定層,解決了影響光電化學電池分解水領域的一些難題。



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