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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>外延系統(tǒng)>GEN200 分子束外延MBE

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GEN200 分子束外延MBE

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分子束外延MBE薄膜沉積

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質(zhì)量。 

提供成本低的 4 x 4“ 外延片生長

與同類 MBE 系統(tǒng)相比,模塊化架構(gòu)的占用空間要小得多

允許多兩個生長模塊,從而提高產(chǎn)量或允許處理不相容的材料

可選的隔板安裝優(yōu)化了潔凈室空間

集成了業(yè)界具創(chuàng)新性、可靠的系統(tǒng)硬件、源和組件

Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設備的生長中提供的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質(zhì)量。 




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