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GEN10 分子束外延MBE

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分子束外延MBE薄膜沉積

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺中經(jīng)濟、靈活的簇狀工具系統(tǒng),允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統(tǒng)利用率高,允許多個研究人員同時使用該系統(tǒng),并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合,是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素,無論應(yīng)用是什么。

 

自動晶圓轉(zhuǎn)移可實現(xiàn)高系統(tǒng)利用率,允許多名研究人員同時使用該系統(tǒng),并在無人值守的情況下進行生長和校準

經(jīng)濟地升到其他增長模塊的路徑,多三個

集群架構(gòu)中可配置的、特定于材料的生長模塊可在一個真空系統(tǒng)中生長不相容的材料

直接通往更大規(guī)模生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)的工藝路徑 

GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺中經(jīng)濟、靈活的簇狀工具系統(tǒng),允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統(tǒng)利用率高,允許多個研究人員同時使用該系統(tǒng),并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合,是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素,無論應(yīng)用是什么。




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