日本IKC波紋管式緊湊型直線送料機導入機 ILC-34-10/34-15/34-20系列 特點介紹

直進機是一種使真空中的設備、設備在保持真空狀態的情況下從大氣側直線前進的產品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。

入江工研的直線送料機有波紋管密封型和磁力密封型兩種類型，并配有手動和自動驅動系統，提供滿足各種需求的產品。

我們的焊接波紋管是內置的，行程標準化為 10 至 200 毫米。

驅動部分密封采用焊接波紋管，因此可用于超高真空領域。

它的結構極其簡單，注重功能，使其體積小、重量輕。手動型設計可承受250℃烘烤溫度。

1. 內置入江工研制造的焊接波紋管，標準化行程為10mm、15mm、20mm。

2. 比我們的波紋管式直導入機（ILD系列）更加緊湊。

日本IKC波紋管式緊湊型直線送料機導入機 ILC-34-10/34-15/34-20系列 規格參數

ILC-34-10ILC-34-15ILC-34-20

中風10毫米 15毫米 20毫米 

連接法蘭CF34 

驅動方式手動的 

泄漏量1×10 -10 Pa·m 3 /s以下 

烘烤溫度250℃ 

主要使用材料SUS304 

波紋管材質SUS316L 

直進機是一種使真空中的設備、設備在保持真空狀態的情況下從大氣側直線前進的產品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。

入江工研的直線送料機有波紋管密封型和磁力密封型兩種類型，并配有手動和自動驅動系統，提供滿足各種需求的產品。

我們的焊接波紋管是內置的，行程標準化為 10 至 200 毫米。