日本IKC驅動裝置波紋管式直導入機自動型 ILD-70A / ILD-114A系列 特點介紹

直進機是一種使真空中的設備、設備在保持真空狀態的情況下從大氣側直線前進的產品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。

入江工研的直線送料機有波紋管密封型和磁力密封型兩種類型，并配有手動和自動驅動系統，提供滿足各種需求的產品。

我們的焊接波紋管是內置的，行程標準化為 10 至 200 毫米。

驅動部分密封采用焊接波紋管，因此可用于超高真空領域。

它的結構極其簡單，注重功能，使其體積小、重量輕。手動型設計可承受250℃烘烤溫度。

1、驅動裝置密封采用入江工研生產的焊接波紋管，

可用于超高真空領域。

2. 備有行程100mm、150mm的各種尺寸（CF70、114、152、203）。

3、電機標配可逆電機。（步進電機等請另行咨詢）

4. 標準配備限位開關。電位計可作為位置檢測的選件

日本IKC驅動裝置波紋管式直導入機自動型 ILD-70A / ILD-114A系列 規格參數

ILD-70AILD-114A

型號后綴50 100 150 50 100 150 

行程（毫米）50 100 150 50 100 150 

連接法蘭CF70 CF114 

驅動方式電機驅動 

泄漏量1×10 -10 Pa·m 3 /s以下 

烘烤溫度- 

主要使用材料SUS304 

波紋管材質SUS316L