半自動酸洗清洗系統

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酸洗 RCA 清洗機

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公司介紹 主營產品

深圳正陽工業清洗設備有限公司成立于2008年，經過15余年來的發展，如今已在華東、西南、廈門等地區設立服務辦事處。

公司通過了IS09001質量管理體系、IS014001環境管理體系和職業健康管理體系，是專精特新企業，擁有多項自主知識產權，與多所高校建立了長期技術研發合作關系。

公司集產品開發、生產、銷售及提供高要求智能清洗整體解決方案于一體，致力于在智能清洗領域做專、做實、做精、做透、做特！

通過敬業、職業、專業的服務，深得客戶的信賴，與上百家企業建立了長期的伙伴合作關系，贏得了市場和業界的尊重！

展開

RCA濕法清洗機，干法等離子清洗機等

濕法清洗技術，又可以分為化學方法和物理方法兩個方向。

化學方法主要通過將硅片浸入不同的化學藥劑從而達到清洗的目的，根據藥劑的不同又有RCA清洗、改進RCA清洗、臭氧清洗、IMEC清洗等多條分支。

RCA清洗法是用于晶圓清洗的一種清洗工藝方法，也是目前工業界廣泛采用的清洗工藝方法。

清洗的一般思路是首先去除硅片表面的有機沾污，因為有機物會遮蓋部分硅片表面，從而使氧化膜和與之相關的沾污難以去除；然后溶解氧化膜，因為氧化層是“沾污陷阱”，也會引入外延缺陷；最后再去除顆粒、金屬等沾污，同時使硅片表面鈍化。