巴魯夫成型外殼內的磁致伸縮位移傳感器

實驗結果證明，通過采用鐵鈷柵陣式磁敏薄膜的SAW磁場傳感器，成功抑制了鐵鈷材料中的磁滯效應，其磁滯誤差僅為鐵鈷薄膜式傳感器的五分之一，而且，傳感器的靈敏度、線性度也得到了大幅改善，如圖2所示。該項研究為高性能磁場檢測提供了一個有效途徑。

　　* 強磁滯效應：鐵磁材料磁化狀態的變化總是落后于外加磁場的變化，在外磁場撤消后，材料仍能保持原有的部分磁性。

　　* 磁致伸縮效應：鐵磁材料在外部磁場發生變化時，材料的尺寸和體積會發生變化。

　　* ΔE效應：鐵磁材料在外部磁場發生變化時，自身的楊氏彈性模量（E）也會發生變化。

巴魯夫成型外殼內的磁致伸縮位移傳感器

在當今的信息社會中，磁場傳感器已成為信息技術和信息產業中*的基礎元件。

目前，人們已研制出利用各種物理、化學和生物效應的磁場傳感器，并已在科研、生產和社會生活的各個方面得到廣泛應用，承擔起探究種種信息的任務。但是多數的磁場傳感技術在靈敏度及磁滯誤差等方面仍存在問題，阻礙了其實質應用。

將柵陣式鐵鈷（FeCo）磁致伸縮薄膜高磁敏、低磁滯性與聲表面波的快速響應特點相結合，有可能實現一種快速、高靈敏、低遲滯誤差、穩定可靠的新型磁場檢測方法來檢測磁場。

中科院聲學所超聲技術中心的王文研究員、賈雅娜博士等人研究發現，對鐵鈷磁致伸縮薄膜進行柵陣式設計，可以獲得一種新型的快速、靈敏度高的磁場檢測方法，提高磁場傳感器的線性度、*性和穩定性，減小遲滯誤差，由此改善磁場傳感器的性能。相關成果已發表于期刊 AIP advances [1]。