CY-O1200-60-4CLV-PE 四路質子混氣管式pecvd系統
參考價 | ¥ 70000 |
訂貨量 | ≥1 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-O1200-60-4CLV-PE
- 產地 高新區翠竹街6號9號樓
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2018/5/14 9:00:00
- 訪問次數 509
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產品特點 | 該套PECVD是由500W交流等離子體與、開啟式1200度管式爐、7通道精密質量流量計和高真空系統氣體組成 |
開啟式管式爐 | 工作溫度:1200℃ 爐管尺寸:Φ50,Φ60,Φ80都可用 溫度控制器:30段高精度數字可編程溫度控制器 加熱區長度:440mm 恒溫區長度:150mm 功率:AC 220V 4KW |
等離子射頻電源 | 輸出功率:50-500Wzui大可調±1% RF頻率: 13.56MHz的±0.005%穩定可調 冷卻:風冷 輸入功率:1KW AC 220V |
真空泵和閥門 | 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接 真空度可達10-3torr 數字真空壓力表可直觀的顯示數值 可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr |
質量流量計 | 內部裝有高精度數字顯示質量流量計可準確的控制氣體流量 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02% 一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥,不銹鋼針閥安裝在左側可手動控制混合氣體輸入 進氣口:采用標準雙卡套接頭 |
超溫報警 | 有 |
過流保護 | 有 |
斷偶提示 | 有 |
售后服務 | 質保一年,終身保修 |
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