?金剛石厚度測試的方法主要包括以下幾種?：

1. ?X射線檢測?：將樣品放置在X射線檢測機的樣品室載物臺上，曲面朝上，用美工膠紙固定。調整工作電壓至90KV，工作電流100μA，選擇合適的放大倍數拍照、測量并保存數據。X射線檢測可以清晰地顯示金剛石復合片的邊界和各層厚度?1。

2. ?超聲檢測?：使用水浸超聲掃描顯微鏡設備進行檢測。將金剛石復合片放入設備探頭正下方，校準探頭及工件參數，進行超聲檢測。超聲C掃描呈像可以清晰地顯示金剛石復合片的厚度和內部缺陷情況，如裂痕和空洞等?2。

3. ?三維工業CT/X-RAY?：通過三維工業CT或X射線掃描設備，可以提供高精度的內部缺陷檢測。這種方法適用于芯片和電子器件的內部缺陷檢測，能夠精準定位內部問題?

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