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資料簡介
廣州善準科技有限公司真空等離子清洗VP-R系列對標國際一線廠商，補充國內技術短板（低溫真空石英腔體等離子清洗裝置），VP-R系列頻率13.56MHz，能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運行30分鐘，腔體溫度不高于32℃，不損傷樣品，適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
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