在排除以上兩個因素后，引起真空泵抽不到極限真空度的主要原因有以下幾個方面。泵油污染，需要換油;泵內油過濾器堵塞，引起壓縮注油系統油路不暢，供油不足，導致泵體密封不嚴，這時需要清洗內部油過濾器;配油器閥門變形，磨損或損壞，也可導致供油不足，這時應檢查更換配油器閥門;長時間使用引起真空泵的旋片磨損或轉子內的彈簧張力不足，導致吸氣室和排氣室隔離不嚴，從而引起真空泵的抽真空性能下降，這時應當更換旋片和彈簧，并清洗轉子和泵腔;檢查排氣閥門，觀看其動作是否失靈，導致排氣不暢，必要時更換排氣閥門。

易維實驗儀器廠家提醒您，真空泵的真空系統是其工作的控制中心，我們要有一定的保護措施。當系統中有大量冷凝蒸氣時，應打開氣鎮，與真空泵相連通，氣鎮閥一定要*打開。這時可在氣鎮上安裝氣鎮控制電磁閥，以提高氣鎮控制的自動化和遠程控制能力。使用中，經常發現真空泵與真空系統連接的透明塑料管內壁發黃或焦黃，其原因是真空泵返油或油蒸氣冷凝所導致，這只是表面現象，更深一層大家看不到的是所返油蒸氣進入分析儀器，如質譜儀的分析場和離子源，這將導致分析儀器的性能下降，甚至不能工作，需要清洗維修。為防患于未然，應當在真空泵入口與真空系統之間安裝電磁閥，在真空泵關閉時，電磁閥自動打開，往真空泵送入大氣，減小負壓，防止返油發生。