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超純水標準
中用水標準GB6682-2008
| 名稱 | 一級 | 二級 | 三級 |
| PH值范圍（25℃） | - | - | 5.0-7.5 |
| 電導率（25℃）,mS/m ≤ | 0.01 | 0.10 | 0.50 |
| 比電阻（MΩ.cm.25℃）≥ | 10 | 1 | 0.2 |
| 可氧化物質[以（0）計]，mg/L | - | 0.08 | 0.40 |
| < 吸光度（254nm,1cm 光程）≤ | 0.001 | 0.01 | - |
| 蒸發殘渣（105±2℃），mg/L≤ | - | 1.0 | 2.0 |
| 可容性硅[以（sio2）計]，mg/L< | 0.01 | 0.02 | - |
中電子超純水標準GB/T1146.1-1997
| 指標 | EW-I | EW-II |
| 電阻率MΩ.cm（25℃） | 18以上（95%時間）不低于17 | 15（95%時間）不低于13 |
| 硅≤?g/l | 2 | 10 |
| >1?M微粒數≤個/ml | 0.1 | 5 |
| 細菌個數≤個/ml | 0.01 | 0.1 |
| 銅≤?g/l | 0.2 | 1 |
| 鋅≤?g/l | 0.2 | 1 |
| 鎳≤?g/l | 0.1 | 1 |
| 鈉≤?g/l | 0.5 | 2 |
| 鉀≤?g/l | 0.5 | 2 |
| 氯≤?g/l | 1 | 1 |
| 硝酸根≤?g/l | 1 | 1 |
| 磷酸根≤?g/l | 1 | 1 |
| 硫酸根≤?g/l | 1 | 1 |
| 總有機碳≤?g/l | 20 | 100 |
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