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一、真空熱處理爐根據用途可分為真空淬火（固溶）爐、真空回火（時效）爐、真空退火爐等。
1．真空淬火爐：真空淬火爐可分為真空油淬爐和真空氣淬爐兩種形式。
1.1 真空油淬爐主要適用于合金結構鋼、軸承鋼、工具鋼、模具鋼、彈簧鋼、高溫合金、不銹鋼、磁性材料的真空處理等。其主要特點是適用材料范圍廣、零件變形相對較大、需后續清洗、淬火油可重復使用、成本相對較低。真空油淬爐的結構形式可分為雙室、三室等。
1.2真空高壓氣淬主要適用于高合金工模具鋼、高速鋼、部分高溫合金和不銹鋼等的真空處理。其主要特點是處理零件變形相對較小、處理后不需后續清洗、適用材料范圍小、淬火氣體（N2）不可回收、成本相對較高 。真空高壓氣淬爐的結構形式可分為單室、雙室和三室等。真空高壓氣淬爐一般淬火壓力為6bar（1bar =105 pa）。為了擴大氣淬爐的使用范圍，可以提高淬火壓力至10bar以至更高 。用于環狀、筒狀及細長桿零件真空高壓氣淬，可選用立式結構（VGQV系列）。
2．真空回火爐：真空回火爐可分為單室、雙室等形式。zui高溫度一般為700℃，用鎳鉻帶加熱。真空回火爐一般用于要求回火后表面光亮的工件處理，為了防止一些材料回火后產生二次脆性，可選用雙室油冷回火爐，提高冷卻速度。
3．真空退火爐：退火爐根據用途可分為高溫（使用溫度1000℃以上及中溫退火爐1000℃以下）。根據退火材料形狀不同可選臥式（VAF型）和立式（VAFV型）結構。
二、真空爐加熱室類型的選擇：分為石墨屏型和金屬屏型。
石墨屏型：適用于一般的鋼材的淬火爐，退火爐等。
金屬屏型（鉬）：適用于對爐內環境要求較高的淬火爐，退火爐。（如高溫合金、鈦合金、不銹鋼等）。
金屬屏型（不銹鋼）：適用于回火爐等低溫爐。
三、真空度的選擇
一般材料（如結構鋼、軸承鋼、工具鋼、模具鋼等）的真空熱處理可選用中真空（極限真空度4×10-1pa）。對要求較高的材料（如鈦合金、磁性材料、高溫合金、部分不銹鋼等）的熱處理，可選用高真空（極限真空度為6×10-3pa以上）。
見附表1。
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