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原子力顯微鏡(AFM)拼接縫合技術(Stitching)分析大尺寸表面

來源:北京億誠恒達科技有限公司   2010年05月07日 11:50  
Nanite原子力顯微鏡測量模式: 接觸式原子力顯微鏡,真正非接觸式原子力顯微鏡,橫向力/摩擦力顯微鏡(LFM),導電原子力顯微鏡,磁力顯微鏡(MFM),開爾文探針(Kelvin Probe),掃描熱原子力顯微鏡(SThM),電容和靜電力顯微鏡(EFM),的納米光刻和納米操作能力,音叉原子力顯微鏡,三維掃描成像。
 
摘要
本篇應用文章介紹了Nanosurf Nanite AFM腳本文件界面與Nanosurf報告專家分析軟件結合的全自動拼接縫合技術特點。LCD面板上的AFM測量作為一個例子,演示如何拼接能夠簡單的得到大尺寸表面區域的高分辨率形貌圖像。
 
介紹
高分辨率成像技術例如AFM常常會受制于他們的zui大掃描范圍。當同時需要AFM高的側向分辨率和一個大掃描范圍時,圖像拼接技術是一個解決方案。圖像拼接常用于從批量制作的圖片中生成一個單一的全景圖像。在更*的操作中,這項技術也能被用于結合批量AFM測量生成單一大圖像。因此,大尺寸表面區域的AFM圖像,例如1 mm × 1 mm100 μm × 100μm大小,能被簡單的得到。
 
Nanosurf Nanite AFM系統能全自動的測量和拼接所需要的圖像。用戶僅需要單個AFM圖像大小和被測量區域的大小。然后AFM會執行好剩余的操作。測量完成后,圖像被加載到Nanosurf Report Expert后處理軟件中,然后一起被拼接成一個單一圖像。這個圖像仍然包含所有的精密測量數據,因此能像其他AFM圖像一樣具有所有的分析功能,包括高度和距離測量,粗糙度計算,顆粒和粒徑分析,橫截面分析,和3維成像功能。

 

1LCD面板的光學顯微鏡圖像。范圍:660 μm × 660μm使用Nanosurf easyScope 120倍放大得到。大的紅色框圍著的是一單個LCD像素。小的白色框對應的是AFM掃描范圍能覆蓋的區域。掃描結果見圖2
 
 
2LCD面板典型的AFM掃描區域,在有限的掃描區域得到高分辨率的形貌數據。掃描范圍74μm × 74μm,如圖1中白色框所示。
 
 
3Nanosurf控制軟件中運行的拼接腳本程序。紅框顯示了拼接對話框要求用戶提供基本參數用于拼接處理。
 
 
圖4:Nanosurf Report Expert軟件中的拼接模塊界面。簡單但功能強大的命令允許任何人運行拼接程序,并得到專業的結果。
 
 
圖5:一幅拼接好的AFM三維圖像。這幅圖(對應圖4得到的拼接結果),200倍放大倍數,演示了使用Nanosurf Nanite B AFM和自動移動平臺如何輕松獲得高分辨率的三維數據。也演示了拼接結果是多么的嚴絲合縫。
 
 
圖6:一個LCD面板的AFM拼接圖像。這幅圖(560μm × 570μm160倍放大倍率)10 × 10幅圖像的結果,此結果是使用Nanosurf Nanite B AFM掃描記錄和拼接,并運用了Nanosurf 控制和報告軟件的拼接功能此結構在尺寸上與圖1所示光學圖片相近,但提供了更多的細節和三維數據。

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