在半導體材料、光電器件（如太陽能電池、LED、光電探測器）的研發與測試中，高效、精準且靈活的光電性能表征平臺至關重要。傳統測試往往需要在不同設備間切換，配置復雜光路，效率低下。本文將為您介紹一款集成化設計的高性價比光電測試探針臺系統，融合精密電學測量與靈活光學激勵能力。

核心優勢：一體集成，靈活高效

• 多源激勵全譜覆蓋：系統支持從紫外 (200nm) 到紅外 (2500nm) 的寬光譜光源，包括氙燈復合光源、激光器、LED 等。三光柵單色儀結合消二次色散設計，確保高純度的單色光輸出

• 光路靈活尺寸可控：提供聚焦照明與均勻照明兩種模式，光斑尺寸可在 1微米至5毫米 的廣闊范圍內精確調節，滿足微區測試與大面積掃描的不同需求。

• 軟件驅動智能控制：配套軟件是系統的“大腦”，突破性地集成控制光學激勵源、電學測量儀表（數字源表）及運動平臺。用戶可自定義復雜的參數掃描序列（如波長-電壓-電流組合），極大簡化測試流程。

• 模塊擴展功能強大：基礎平臺支持選配光致發光光譜 (PL)、電致發光光譜 (EL) 等高級測試模塊，滿足前沿研究需求。

核心部件參數詳解

• 精密探針臺 (QTY: 1)：

兼容六英寸晶圓或芯片。

高精度四探針系統，定位底座分辨率達 0.7微米。

雙通道低噪聲電學探測接口，支持旋轉測量。

配備 3.5微米分辨率光學顯微鏡 及 2000萬像素工業相機** (1X-5X數碼變焦)，實現精準觀測與定位。

提供多種規格探針 (10/20/50/100μm)。

• 智能可調光源 (QTY: 1)：

氙燈光源：150W功率，覆蓋 200nm - 2500nm 光譜。

三光柵單色儀：焦距300mm，非對稱光路，有效抑制雜散光。

靈活輸出：單色光范圍250-1700nm，帶寬連續可調 (典型30nm)，配備適用200-1800nm的六位濾光片輪。

φ200mm 積分球：提供均勻照明，含毫秒級快門控制。

全自動控制：軟件控制波長掃描、濾光片切換、步長、延遲時間等。

定制光纖輸出：便于光路靈活配置。

•  高性能數字源表 (QTY: 1)：

寬范圍輸出/測量：電壓 (±200mV~200V)，電流 (±1μA~1A)，功率20W。

超高精度：電流分辨率達 0.1fA，電壓分辨率 1μV。

四象限工作：可無縫切換源與阱模式。

豐富功能：內置電壓比較器，數字I/O，支持觸發掃描。

多接口通訊：GPIB, RS-232, USB, LAN。

• 多功能測試軟件 (QTY: 1)：

集成控制：統一界面控制光源、源表、運動平臺等設備。

參數設置靈活：可配置輸出通道、測量通道、掃描模式 (電壓、電流、光波長等)、步長、延遲、循環次數等。

豐富曲線繪制：實時顯示并分析VI、IV、LI、PV、RI、PI、RV、RFI、BJI、BJV等十余種特性曲線。

數據處理：數據濾波（取平均）、自動/手動量程設置。

精度調節：測量積分時間可設 (0.001s~2s)，平衡速度與精度。

人性化結構設計

• 四維精密運動：樣品臺支持 X, Y, Z, R (旋轉)四軸電動控制，便于精確定位和測量點選擇。

• 快速樣品更換：樣品通過真空吸附固定于底盤，樣品臺可快速抽出，大幅提升換樣效率。

• 模塊化布局：探針臺體集成4個高精度探針底座，預留光路接口，結構緊湊穩定。

天恒科儀光電耦合測量探針臺系統通過高度集成化的硬件平臺與功能強大的智能軟件，成功解決了傳統光電測試中設備分散、操作繁瑣、光路配置復雜的痛點。

其寬光譜光源激勵能力、微米級電學定位精度、納安級電流檢測靈敏度以及靈活的自定義掃描功能，使其成為材料研究、光電器件開發及量產測試中性價比很高的選擇。

無論是基礎的IV特性測試，還是復雜的光電響應譜、EL/PL光譜分析，該系統都能提供高效、可靠的一站式解決方案，顯著提升研發與測試效率。