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ULVAC愛發(fā)科用于FPD半導體電子部件等各種制造設備皮拉尼真空計SW1-N1
皮拉尼真空計Model:SW1-1(日本產(chǎn)) / SW1-N1(中國產(chǎn))
ULVAC
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皮拉尼真空計，可以測量從大氣壓到5×10-2Pa的廣泛的壓力范圍
該真空計從傳統(tǒng)的控制器（傳感器單元）中除去操作·顯示部，最大限度凝縮精簡功能，使「降成本」和「省空間」成為可能。
特點
測量范圍：可以進行從大氣壓到5×10-2 Pa
抗沖擊性提高：具有高抗沖擊性的結(jié)構設計（正在申請）
優(yōu)異的大氣壓精度：無論真空計的安裝位置如何，精度均在±20％以內(nèi)（日本第4878289號）
燈絲材料·鉑（Pt）：由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲
可視化程度提高：配備可確認異常的LED
一觸式調(diào)整：一鍵式即可進行大氣壓力調(diào)整和零點調(diào)整
維護：更換測定子更輕松
適用測定子擴展：除了NW16 / 25規(guī)格外，還將Φ15/ 18規(guī)格，拼接法蘭規(guī)格和錐形螺絲R1 / 8規(guī)格添加到產(chǎn)品陣容中
用途
太陽能電池?FPD?半導體?電子部件等各種制造設備
用于設備的低真空領域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設備的低真空領域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設備的低真空領域的工藝控制
用于有振動?沖擊的各種真空排氣系統(tǒng)
規(guī)格
| Model | SW1-1 | SW1-2 |
| Connectable sensor head | 1 pc | |
| Compatible sensor head | SWP-16（NW16）, SWP-25（NW25), SWP-R1/8（R1/8）, SWP-P18（φ18）, SWP-P15（φ15）, SWP-CF16（ICF034）, SWP-1S（ASME BPE sanitary 1"） | |
| Measurable pressure range | 5.0×10-2 ~ 1.0×10+5 Pa（Pa（表示範囲：1.0×10-2 ~ 1.2×10+5Pa） | |
| Accuracy* | 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa ： ±10% | |
| 5.0×10-2 ~ 1.0×10-1 Pa, 1×10+4 Pa ~ 1×10+5 Pa : ±20% | ||
| Repeatability | 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±2% | |
| Sampling time | 50ms 5回の移動平均処理 | |
| Value output | Output voltage DC 0 to 10V | |
| Pressure indication (Log) 1.7V to 8.0V 1V/decade | ||
| (Update time) 50ms | ||
| Control input signal | Open collector input, Negative logic | - |
| ADJ Adjustment (ZERO point, atmosphere adjust) | - | |
| Control output signal | Open collector output, negative logic [rating: 30VMAX, 50mAMAX, 70mW] | - |
| Error signal | - | |
| Set point 1, 2 | - | |
| Monitor for setpoint | Set point 1, 2: 0 to 10V Log output | - |
| Serial communication type | - | RS232C/RS485 |
| LED display | POWER/ERROR: Power error LED | |
| SET-1: Set point 1LED | - | |
| SET-2: Set point 2LED | - | |
| Materal of filament | Pt | |
| Operating temperature range | 10 ~ 40℃ | |
| Operating humidity range | 15 ~ 80% (Not condensing) | |
| IP rating | IP30 (Sensor unit) | |
| Fixing position | Free | |
| Power supply voltage | DC18V ~ 30V, 2W (4.8W w/power input) | |
| Input/output connector | D-sub 15-pin (M2.6mm screw) - side sensor unit | |
| Weight | 150g (with SWP-16) | |
| Dimension (Power supply) W×D×H | 70mm×46mm×28mm | |
| Standard accessories | Quick manual | |
| Option | Input/output conector (D-sub 15-socket (M2.6mm screw)), Inspection result data sheet, General calibration test report, JCSS caribration certificate | |
| Applicable standard | CE | |
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