ULVAC愛發科
渦旋式干式真空泵
什么是渦旋式干式真空泵?
兩個形狀相同的渦旋盤在中心位置略微偏移,使得它們的壁彼此呈線接觸,并且一個渦旋盤相對于另一個渦旋盤進行相對振蕩研磨運動。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心,并從中心的孔中排出。
渦旋式干式真空泵的特點
從吸入口引入的氣體通過與固定渦旋盤重疊的動渦旋盤,從渦旋盤外部向內部被壓縮。壓縮過程通常設計為兩次或多次進行,從而降低振動和噪音水平。極限壓力可達1Pa。
【優點】比羅茨真空泵體積更小、價格更便宜。
【缺點】渦旋前端的密封圈磨損。
渦旋式干式真空泵的工作原理
兩個形狀相同的渦旋盤在中心位置略微偏移,使得它們的壁彼此呈線接觸,并且一個渦旋盤相對于另一個渦旋盤進行相對振蕩研磨運動。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心,并從中心的孔中排出。
渦旋式干式真空泵的主要應用
真空干燥設備、理化分析設備、真空吸附輸送設備、真空熱處理爐等。
應用行業:
?半導體制造、食品行業、藥品行業、化妝品行業、?太陽能光伏行業、
?半導體:用于晶圓加工、刻蝕、薄膜沉積等環節,化學氣相沉積(CVD)過程。
渦旋干泵可以實現真空輸送,適用于粉末、顆粒等物料的輸送。
?真空干燥與包裝?:在食品、藥品、化妝品等行業的真空冷凍干燥過程中,渦旋干泵可以有效脫水,保持產品形狀和質量;同時,它還用于食品、電子產品等領域的真空包裝過程,延長產品保質期。
?太陽能光伏?:在太陽能光伏行業中,渦旋干泵用于真空封裝、真空燒結等工藝,提高光伏電池的效率和穩定性。?
?食品行業?:在食品加工中,渦旋式干式真空泵用于食品的干燥、脫水和包裝等環節。
?制藥行業?:在藥品生產中,渦旋式干式真空泵用于原料藥的干燥、結晶和分離等過程。
?化工行業?:在化工生產中,渦旋式干式真空泵用于聚合反應、蒸餾、干燥等工藝。在聚合反應中,該泵可以排除反應體系中的空氣和水分,防止反應受到干擾?。
?科研領域:真空鍍膜、材料科學研究中的高真空熱處理等。低溫物理實驗、高真空環境下的化學反應等。
環保工程:渦旋式干式真空泵用于廢氣處理和真空吸附過程,去除有害氣體和污染物。
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。