小型氣體加熱器(熱交換器)
瞬間高效率流體加熱技術產品HX系列。
小型氣體加熱器的用途
可加熱各種流體
瞬間且穩定的流體加熱
質量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
各種流體加熱
該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質的加熱模塊,加熱部分與流體不直接接觸,可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。
瞬間且穩定的流體加熱
在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。
通常,配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點,即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心,從而達到穩定加熱的目的。
質量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
在半導體制造工藝中,不僅需要對氣體進行加熱處理,氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設置質量流量控制器以控制流量,加熱器(輸出端)則需采用低壓降結構。LINTEC自主研發的HX系列加熱器具備低壓降結構,適合與質量流量控制器輸出端連接使用。
小型熱交換器HX-0050A
可將50SLM的N2氣體加熱至200℃的小型熱交換器。
特點
HX-0050A
面間距158㎜×長度80㎜×高80㎜的緊湊型設計
最大流量50SLM
最高使用溫度200℃
接觸氣體部分接采用SUS316L不銹鋼材質,可加熱對其無腐蝕性的氣體
真空、加壓條件下也可使用
使用范例
導入排除設備前的稀釋N2氣體加熱
防止蝕刻設備排氣管路堵塞
半導體制造設備和FPD(平板顯示器)制造設備情況下,反應氣體被送到排除設備的過程中,會部分粘附在配管上形成堵塞。通常,用熱N2氣體稀釋是解決方法之一,但是僅通過管道外部帶狀加熱器加熱無法得到理想的效果。緊湊型熱交換器HX-0050A系列可充分加熱流體,最大限度減少此類堵塞問題的發生。
規格表
流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接氣體部分材質 | |
規格 | 50SLM | 9.8kPa | 1MPa | 200℃ | SUS316L不銹鋼 |
※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。
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