掃描電子顯微鏡通過高能電子束掃描樣品表面，生成納米級分辨率圖像，并搭載EDS（能譜儀）實現元素分析，是化工材料微觀表征的頂級工具。

技術原理

• 電子光學系統：場發射電子槍（冷場或熱場）提供高亮度電子束。

• 信號檢測：二次電子（SE）與背散射電子（BSE）成像，揭示樣品形貌與成分差異。

• 聯用技術：EDS探測器（如牛津儀器X-MaxN）可同步進行元素面分布分析。

化工領域應用

• 催化劑研究：觀察活性金屬顆粒的分散度與載體結構。

• 高分子材料：分析共混材料的相界面結合狀態。

• 涂層檢測：評估防腐涂層厚度與孔隙率。

核心優勢

• 超高分辨率：SU9000型號分辨率達0.4nm（30kV）。

• 低電壓觀測：1kV以下低加速電壓減少對非導電樣品的損傷。

• 自動化功能：自動對中、圖像拼接、3D表面重構。

選型要點

• 電子槍類型：冷場發射（高分辨率）或熱場發射（穩定性優先）。

• 樣品室尺寸：適配塊狀、粉末或薄膜樣品（最大可至200mm晶圓）。

• 擴展功能：可選配EBSD（電子背散射衍射）用于晶體結構分析。

維護與校準

• 每日開機前執行電子槍預熱與束流穩定程序。

• 每月清潔樣品室，避免粉塵污染探測器。

• 每年由廠商進行光軸校準與真空系統維護。