KASHIYAMA日本樫山真空泵MU180X的特點

無油潔凈：采用無油干式技術，通過精密嚙合的螺桿式 / 爪式轉子結構實現氣體壓縮，全程無潤滑油，可避免油蒸氣對工藝腔體的污染，適用于如晶圓加工等對潔凈度要求敏感工藝。

抽速高：最大抽速可達 3000L/min，能夠快速有效地抽取氣體，可適應中高負載的真空需求，滿足如真空鍍膜系統、等離子清洗設備等對抽氣速度有較高要求的設備。

極限壓力低：極限壓力為 1.5Pa，可獲得較高的真空度，能滿足一些對真空環境要求較為苛刻的工藝需求。

耐腐蝕：轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，能夠耐受酸性氣體（如 HCl、Cl?）和顆粒物，可應用于有腐蝕性氣體的環境。

節能高效：配備低功耗電機，功率約 0.5kW，運行能效比優于同類產品；同時采用變頻驅動（VFD）調節轉速，能耗較油封泵可降低 30% - 50%。

結構緊湊：尺寸為 550×280×299mm，重量約 95kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設備中，適合設備集成和改造項目。

智能控制：具有實時參數顯示功能，可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網）輸出真空度、溫度、功耗等數據；還配備自診斷系統，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進入）進行預警，并自動停機保護。

維護便捷：采用模塊化結構，簡化了檢修流程，無需復雜的拆卸和組裝過程，可降低維護成本和停機時間。

電源適應性強：電源為三相 AC200 - 220V，50/60Hz，能適應多種電力供應環境，方便在不同地區和場合使用。