KASHIYAMA日本樫山真空泵MU1200XE的特點

抽速高：最大抽速可達(dá) 20,000L/min，能快速抽取氣體，可滿足大負(fù)載真空需求，大大縮短抽氣時間，提高生產(chǎn)效率，適用于對抽氣速度要求高的工藝，如大型半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備、大型真空干燥設(shè)備等。

極限壓力低：極限壓力為 0.5Pa，可獲得高真空度，能滿足對真空環(huán)境要求苛刻的工藝，如高精度半導(dǎo)體光刻、電子束蒸發(fā)等工藝對真空度要求，該真空泵能提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境。

無油潔凈：采用無油運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)計，避免油污染，可確保工藝腔體潔凈無殘留。適用于對潔凈度要求高的行業(yè)，如半導(dǎo)體、液晶、LED 及太陽能光伏等，在這些行業(yè)中，微小的油滴或油蒸氣都可能對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生嚴(yán)重影響。

節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機(jī)，功率約 0.6kW。運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，降低了能耗與運(yùn)行成本；同時采用變頻驅(qū)動（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，可根據(jù)實際需求調(diào)整抽氣速度，進(jìn)一步節(jié)能，能耗較油封泵可降低 30% - 50%。

結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設(shè)備中，適合設(shè)備集成和改造項目，可靈活安裝在各種生產(chǎn)線上，不占用過多空間。

維護(hù)便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu)，檢修流程簡單，無需復(fù)雜的拆卸和組裝過程，可降低維護(hù)成本和停機(jī)時間。維護(hù)人員可快速定位和更換故障模塊，減少設(shè)備停機(jī)維修時間，提高設(shè)備利用率。

電源適應(yīng)性強(qiáng)：電源為三相 AC200 - 220V，50/60Hz，能適應(yīng)多種電力供應(yīng)環(huán)境，方便在不同地區(qū)和場合使用，無需額外配置復(fù)雜的電源轉(zhuǎn)換設(shè)備。

運(yùn)行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，不易出現(xiàn)故障。且噪音低、振動小，連續(xù)排氣無脈動，能為工作環(huán)境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。

智能控制：具有實時參數(shù)顯示功能，可通過觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)；還配備自診斷系統(tǒng)，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進(jìn)入）進(jìn)行預(yù)警，并自動停機(jī)保護(hù)，方便操作人員實時監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)和處理問題。