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懸臂式三坐標(biāo)測量機(jī)的一些關(guān)鍵檢驗要點(diǎn)：
幾何精度檢驗
工作臺面與移動平面平行度：檢驗工作臺面與X、Y移動平面的平行度，確保測量基準(zhǔn)的準(zhǔn)確性。
移動直線度：檢驗X、Y、Z向移動的直線度，每個坐標(biāo)軸都有兩個方向的直線度要求。
移動角度變化：檢驗X、Y、Z方向移動的角度變化，每個坐標(biāo)軸有3個方向的角度變化要求。
移動相互垂直度：檢驗X、Y、Z方向移動的相互垂直度，總共有3個垂直度要求。
測量精度檢驗
示值誤差（MPEE）：沿各坐標(biāo)軸測得的三坐標(biāo)測量機(jī)位置讀數(shù)與基準(zhǔn)長度測量系統(tǒng)讀數(shù)的差值，主要為坐標(biāo)位置的點(diǎn)位精度。檢驗時，需通過比較不同長度尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的校準(zhǔn)值和指示值，評價坐標(biāo)測量機(jī)是否符合規(guī)定的最大允許示值誤差。通常使用三等量塊作為標(biāo)準(zhǔn)器，在測量空間的多個方向進(jìn)行測量，重復(fù)測量多次以獲取準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。
探測誤差（MPEP）：通過確定測量點(diǎn)到最小二乘擬合球球心距離的范圍，評價三維探測誤差是否符合規(guī)定的最大允許探測誤差。檢驗時，在標(biāo)準(zhǔn)球上選取多個探測點(diǎn)進(jìn)行探測，探測點(diǎn)須均布，并計算高斯擬合球以得出探測誤差。
其他性能檢驗
動態(tài)誤差：主要來源于測量部件運(yùn)動過程中由于加速度造成的變形，特別當(dāng)測量面是曲面時，測量頭作向心加速度運(yùn)動將產(chǎn)生動態(tài)誤差。動態(tài)誤差一般不超過靜態(tài)誤差的10%~30%。
重復(fù)性：在相同條件下，多次測量同一位置的偏差程度。高重復(fù)性意味著測量結(jié)果更加穩(wěn)定可靠。
環(huán)境適應(yīng)性：檢驗三坐標(biāo)測量機(jī)在不同溫度、濕度等環(huán)境條件下的工作穩(wěn)定性和測量準(zhǔn)確性。
檢驗方法與設(shè)備
使用標(biāo)準(zhǔn)器：如量塊、標(biāo)準(zhǔn)球等，作為檢驗的基準(zhǔn)。
激光干涉儀：可用于校準(zhǔn)三坐標(biāo)測量機(jī)的各軸運(yùn)動精度，測量各軸在運(yùn)動過程中的實(shí)際位移，并與測量機(jī)控制系統(tǒng)所顯示的位移進(jìn)行對比。
遵循操作規(guī)范：嚴(yán)格按照測量機(jī)的操作手冊和校準(zhǔn)規(guī)范進(jìn)行操作，確保檢驗結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
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