菲希爾X射線測厚儀FISCHER XDL230

一、核心測量技術

1. 測量原理：運用 X 射線熒光光譜法，實現對鍍層厚度的精準測量。

2. 測量方式：無損檢測，具備自動聚焦功能，保障樣品完整性與測量準確性。

3. 元素測量范圍：涵蓋 Cl（17） - U（92），最多可同時測量 24 種元素、23 層鍍層。

二、硬件性能參數

1. 手動 X/Y 平臺：移動范圍≥95x150mm，可用工作臺面≥420x450mm，滿足多樣品放置與測量需求。

2. 電動 Z 軸：支持手動 / 自動聚焦，移動范圍≥140mm，適配不同高度樣品。

3. DCM 技術：采用測量距離補償法（DCM），可實現 80mm 深度的腔體樣品遠距離對焦測量 。

4. 高壓調節：可變高壓支持 30KV、40KV、50KV 三檔調節，靈活應對不同測試場景。

5. 準直器：配備 φ0.3 的圓形準直器，提升測量精度。

6. X 射線探測器：采用比例接收器，確保信號穩定接收。

7. 攝像頭：高分辨率 CCD 攝像頭，放大倍數 40 - 160 倍，便于樣品觀察定位。

三、軟件與數據處理

1. 操作系統與軟件：基于 Windows 7 以上中文操作界面，搭載 WinFTM 專業測試軟件，配備連接 PC 和打印機的 USB 接口。

2. 統計計算功能：數據組集成時間和日期功能，具備平均值、標準偏差、最大值、最小值等統計計算；支持公差范圍輸入，可計算 CP 和 Cpk 值，超范圍自動報警提示。

3. 校準與判定：采用基本參數法，內置 12 純元素頻譜庫，實現無標準片校準測量；具備 MQ 值顯示，用于判斷測量程式與樣品匹配度，防止誤操作。

四、標準配置與合規性

1. 標準片：配備 12 種基準純元素（Ag, Cu, Fe, Ni, Zn, Zr, Mo, Sn, W, Au, Pb, Cr）標準片。

2. 輻射安全：持有環保部門出具的輻射豁免管理函，符合安全標準。

3. 計算機控制系統：配置 I5 處理器、8G 內存、500G 硬盤、19 寸液晶顯示器及彩色噴墨打印機。

五、工作環境要求

1. 溫度范圍：10℃ - 40℃。

2. 相對濕度：20% - 80%。

六、關鍵測量精度指標

1. 當鍍層厚度≥0.5um 時，頂層鍍層測量精度≤5%，確保測量結果可靠性。