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如何維護和校準氨氣流量控制器？

來源：青島芯笙微納電子科技有限公司 2025年05月15日 10:59

　　氨氣流量控制器是一種用于精確控制氨氣流量的設備，為確保其長期穩定運行和測量準確性，需要進行定期的維護和校準。以下是如何維護和校準氨氣流量控制器的詳細步驟：

　　一、維護步驟

　　1.日常清潔：

　　使用干凈的軟布或棉簽輕輕擦拭儀器表面，防止灰塵、油污等雜質進入儀器內部影響其性能。

　　注意避免使用腐蝕性清潔劑，以免損壞儀器表面或內部零件。

　　2.定期檢查連接部位：

　　定期檢查氨氣流量控制器的連接部位，確保連接牢固、無泄漏。

　　如果發現連接部位松動或泄漏，應及時擰緊或更換密封件。

　　3.管道檢查與固定：

　　檢查管道剛性是否足夠，如缺乏剛性，建議使用支架固定管道，以避免作業時出現振蕩現象。

　　4.存放與防護：

　　當氨氣流量控制器長時間不使用時，應將其存放在干燥、通風的地方，并妥善包裝，防止灰塵、油污等雜質進入儀器內部。

　　避免將儀器暴露在高溫、高濕度、強磁場等惡劣環境中，以免影響其性能和壽命。

　　5.專業維護保養：

　　定期進行專業的維護保養，包括拆開設備內部進行雜物整理，檢查是否有受損的零件，并進行必要的更換或維修。

　　二、校準步驟

　　1.準備階段：

　　確保校準環境穩定，溫度控制在（20±5）℃，濕度在45%RH~75%RH范圍內，且無大氣壓力突變、振動干擾及磁場干擾。

　　準備校準所需的設備，如標準流量計、秒表、數字萬用表等。

　　2.設備連接與檢漏：

　　正確連接標準流量計、被校準的氨氣流量控制器等設備，確保各連接部位無漏氣現象。

　　進行氣密性檢驗，確保整個校準系統的密封性。

　　3.校準操作：

　　零點校準：在清潔、無干擾的環境中，調整儀器零點，使其顯示值為零。

　　示值誤差校準：通過調節閥或流量計設置多個不同的流量點（如滿量程的0%、25%、50%、75%、100%），記錄標準流量計和被校準流量計的讀數，計算示值誤差。重復測量多次，取平均值以提高準確性。

　　響應時間校準：設定一個流量階躍變化（如從0%到50%或從50%到100%），同時啟動秒表，記錄被校準控制器響應達到穩定所需時間。響應時間應滿足技術規格書要求。

　　重復性校準：選擇2~3個不同流量點進行重復性測試，每個流量點重復測量多次（如6次），記錄讀數并計算重復性誤差。確保重復性滿足要求。

　　4.數據記錄與分析：

　　詳細記錄校準過程中的各項數據，包括流量設定值、標準流量計讀數、被校準流量計讀數、時間、溫度等環境條件。

　　根據校準數據判斷被校準控制器的示值誤差、重復性和響應時間等指標是否符合技術規格書要求。對于不合格項，需進行調整或維修后重新校準。

　　5.報告編制與歸檔：

　　整理校準數據，編制校準報告。報告應包含被校儀器信息、校準依據、校準項目、校準數據、不確定度/準確度等級、校準結論等內容。

　　將校準報告存檔備查，以便后續追溯和質量控制。

　　通過以上步驟，可以確保氨氣流量控制器的準確性和可靠性，從而提高生產效率和安全性。同時，定期的維護和校準也是預防故障和延長設備使用壽命的重要措施。

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