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氣體質(zhì)量流量計的傳感器架構(gòu)是其實現(xiàn)高精度測量的核心。常見的熱式氣體質(zhì)量流量計傳感器通常由兩個基準級熱電阻（RTD）組成，包括速度傳感器和溫度傳感器。速度傳感器被加熱到高于介質(zhì)溫度，而溫度傳感器則用于測量介質(zhì)本身的溫度。當氣體流過傳感器時，氣流帶走熱量，導(dǎo)致速度傳感器溫度下降。為了維持恒定的溫度差，需要調(diào)整加熱功率，這一變化與氣體質(zhì)量流量密切相關(guān)。
信號處理鏈則負責(zé)將傳感器輸出的微弱電信號轉(zhuǎn)換為可讀的流量數(shù)據(jù)。傳感器輸出的信號首先經(jīng)過放大器進行信號放大，以增強信號強度。隨后，信號經(jīng)過濾波處理，去除噪聲干擾，確保信號的純凈度。處理后的信號進入信號處理單元，通過模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，便于后續(xù)的數(shù)字處理。
在數(shù)字處理階段，微處理器根據(jù)預(yù)設(shè)的算法對數(shù)字信號進行分析，計算出氣體的質(zhì)量流量。為了提高測量的準確性和穩(wěn)定性，信號處理鏈還可能包括溫度補償、線性化處理等環(huán)節(jié)，以消除環(huán)境溫度、氣體成分等因素對測量結(jié)果的影響。最終，處理后的流量數(shù)據(jù)通過通信接口（如RS-485、HART等）傳輸至上位機或控制系統(tǒng)，實現(xiàn)遠程監(jiān)控和自動化控制。
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