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激光光束質量分析儀常用測量技術

來源:巨力光電(北京)科技有限公司   2025年05月08日 09:48  

激光光束參數測量技術


· 光斑尺寸測量

 CCD/CMOS 相機技術:利用電荷耦合器件(CCD)或互補金屬氧化物半導體(CMOS)相機拍攝激光光斑圖像,通過圖像處理算法分析光斑的強度分布,從而確定光斑的尺寸和形狀。這種方法具有高分辨率、快速響應的特點,能夠實時監測光斑的變化。

狹縫掃描技術:通過移動狹縫對激光光束進行掃描,測量狹縫后光強的變化,進而計算出光斑在不同方向上的尺寸。該方法精度較高,但測量速度相對較慢,適用于對光斑尺寸精度要求較高的場合。

· 光束發散角測量

遠場測量法:在激光光束的遠場區域,通過測量不同距離處光斑的尺寸,根據幾何關系計算出光束的發散角。這種方法簡單直接,但需要較大的測量空間,且對測量距離的精度要求較高。

基于透鏡成像的測量法:利用透鏡將激光光束成像在焦平面上,通過測量焦平面上光斑的尺寸和透鏡的焦距,計算出光束的發散角。該方法可以減小測量空間,提高測量精度,是一種常用的光束發散角測量方法。

· 光束功率和能量測量

熱釋電探測器:基于熱釋電效應,將激光能量轉化為熱信號,進而測量激光的功率和能量。熱釋電探測器具有寬光譜響應、高靈敏度和快速響應的特點,適用于測量脈沖激光和連續激光的能量和功率。

量熱計:通過測量吸收激光能量后介質的溫度升高,來計算激光的能量和功率。量熱計測量精度高,但響應速度較慢,適用于對能量測量精度要求高的場合。

 


激光光束質量評價技術


· M2 因子測量

二階矩法:通過測量激光光束在不同位置的強度分布,計算出光束的二階矩,進而得到 M2 因子。這種方法基于激光光束的統計特性,能夠全面地描述光束的質量,是目前廣泛應用的 M2 因子測量方法。

刀邊法:利用刀口對激光光束進行掃描,測量光束通過刀口時的光強變化,通過擬合光強分布曲線計算出 M2 因子。刀邊法測量簡單易行,但精度相對較低。

· 光束指向穩定性測量

位置敏感探測器(PSD)技術:PSD 能夠實時測量激光光斑在探測器表面的位置變化,通過對光斑位置的長期監測,評估光束的指向穩定性。該方法具有高靈敏度、快速響應的特點,能夠檢測到微小的光束指向變化。

經緯儀測量法:使用經緯儀等精密角度測量儀器,直接測量激光光束的指向角度變化。這種方法精度較高,但操作復雜,需要專業的設備和技術人員。


相位測量技術


· 干涉測量法

馬赫 - 曾德爾干涉儀:將激光光束分成兩束,通過不同的光路傳播后再合并,利用兩束光的干涉條紋來測量光束的相位分布。這種方法精度高,可用于測量光束波前的微小變化,但對光路的穩定性要求較高。

斐索干涉儀:參考光束和測量光束在同一光路中,通過比較反射回來的兩束光形成干涉條紋,從而測量光束的相位。它適用于測量光學元件的面形和激光光束的波前畸變,具有結構緊湊、測量精度高的優點。

· 計算全息術:通過記錄激光光束的全息圖,利用計算機算法對全息圖進行處理和分析,從而獲取光束的相位信息。該技術可

            以同時測量光束的振幅和相位分布,并且可以對復雜的光束進行測量,但需要較高的計算能力和復雜的算法。

 


空間光調制技術


· 液晶空間光調制器(SLM):利用液晶材料的電光效應,通過施加不同的電壓來控制液晶分子的取向,從而調制激光光束的振幅、相位或偏振態。SLM 具有分辨率高、響應速度快、可實時控制等優點,在激光光束整形、自適應光學等領域有廣泛應用。

 

· 數字微鏡器件(DMD):由大量微小的反射鏡組成,通過控制反射鏡的翻轉角度來調制激光光束的強度和方向。DMD 具有高對比度、高分辨率和快速切換速度的特點,常用于激光光束的圖案生成和光束掃描等方面。

 


高速測量技術


· 條紋相機技術:條紋相機能夠將時間信息轉換為空間信息,通過對激光脈沖的時間分辨成像,實現對高速激光光束的光斑尺寸、強度分布等參數的測量。它具有皮秒級甚至飛秒級的時間分辨率,適用于研究超短脈沖激光的光束特性。

· 高速光電探測器陣列:采用高速光電探測器陣列,結合高速數據采集系統,可以實現對激光光束的高速實時測量。這種技術能夠捕捉到激光光束在短時間內的動態變化,對于研究高功率脈沖激光的光束質量演化過程具有重要意義。

 


非接觸式測量技術


· 光鑷技術:利用激光束形成的光阱來捕獲和操縱微小粒子,通過測量粒子在光阱中的位置和運動狀態,可以間接獲得激光光束的強度分布和梯度信息,從而評估光束質量。光鑷技術具有非接觸、高精度的特點,適用于對微小尺度激光光束的測量。

 

· 散射測量技術:通過向激光光束中引入散射介質,如氣溶膠或微小顆粒,然后測量散射光的強度分布和角度分布,來推斷激光光束的參數。這種方法可以在不直接接觸激光光束的情況下進行測量,對于一些高能量、高功率激光光束的測量具有優勢,同時也可用于測量光束在復雜介質中的傳播特性。

 


自適應測量技術


· 自適應光學系統:結合波前傳感器和變形鏡等元件,實時測量激光光束的波前畸變,并通過變形鏡對光束進行校正,以實現對不同質量激光光束的自適應測量。自適應光學系統可以補償大氣湍流、光學元件像差等因素對光束質量的影響,提高測量精度。

· 智能反饋控制技術:根據測量得到的激光光束質量參數,自動調整測量系統的參數或激光光源的工作條件,以實現最佳的測量效果。例如,當檢測到光束功率變化時,自動調整探測器的增益或積分時間;當發現光束指向不穩定時,通過反饋控制裝置調整激光光源的指向,使測量過程更加穩定和準確。

 



       

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