SMC新推出一款化學液用氣控閥 JLV系列,該產品通過創新結構設計,大大降低閥關閉時的沖擊,從而有效的抑制了微粒的產生。閥主體采用高純PFA材質,對應高工作壓力及背壓,兼具結構緊湊、省空間的特點,適用于涂膠顯影、CMP、清洗、濕法蝕刻、藥液供給等Wet相關各個工藝環節,特別是28nm以下對微粒要求更加嚴格的工藝制程。
SMC氣控閥 JLV系列應用案例:蝕刻裝置
CMP
涂膠顯影機
清洗機
抑制微塵的產生
優化先導排氣,降低閥關閉時的沖擊力。
采用耐化學品性的材質
減少安裝空間
對應高壓/高背壓
使用壓力、背壓范圍擴大,共通化。使用壓力:0~0.5MPa(與以前產品相比最大提高66%)※主體class3的場合背壓:0~0.5MPa(與以前產品相比最大提高150%)
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