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自動橢圓偏振測厚儀(Ellipsometer)是一種用于測量薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的儀器。它通過利用材料的光學特性，能夠準確地測定這些參數，且由于測量過程不需要與樣品直接接觸，不會對材料表面造成損壞，也不需要真空環境，因此具有簡便、快捷且易于實現的特點。
當一束具有已知偏振狀態的激光照射到薄膜表面時，光束在薄膜界面發生折射和反射等作用，導致出射光的偏振狀態發生變化，由線性偏振態變為橢圓偏振態。由于偏振狀態的變化與薄膜的厚度、材料折射率等相關，因此通過測量出射光偏振態的變化，可以通過反演計算獲得薄膜的厚度和光學常數。
使用自動橢圓偏振測厚儀時，通常需要將儀器安放在穩定的工作臺上，并進行光路調整和儀器校正。然后，將待測樣品放置在樣品臺上，調整樣品的位置和角度以確保反射光能夠準確地射入探測器。接下來，啟動儀器進行測量，并等待數據處理系統輸出測量結果。
技術特點：
非接觸無損檢測：儀器通過測量光在介質表面反射前后的偏振態變化來獲取信息，無需與樣品直接接觸，因此不會對樣品造成損傷。
高精度測量：儀器采用高精度的光學系統和數據處理算法，能夠實現薄膜厚度的準確測量。
測量范圍廣：適用于不同厚度和光學特性的薄膜材料測量。
易于操作：儀器具有友好的用戶界面和操作流程，使得用戶能夠輕松地進行測量和分析。
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