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氧氮氫分析儀是一種用于測定材料中氧、氮、氫含量的高精度分析儀器，在多個領域有廣泛應用。
氧氮氫分析儀的工作原理基于脈沖電極爐加熱、氣體分析技術和微電腦控制。在分析過程中，樣品被放入石墨坩堝中，并在惰性氣體(如氦氣)的環境下進行燃燒。樣品中的氧與石墨坩堝中的碳發生反應，生成二氧化碳和一氧化碳；氫被釋放出來，并與氧化銅反應，生成水；氮則以氮氣的形式被釋放出來。分析氣體經過過濾后，通過載氣(如氦氣)輸送，并經過催化爐以及試劑鍍鉑硅膠，將沒有充分氧化的一氧化碳轉化為二氧化碳。隨后，氣體進入檢測池進行檢測：
氧含量通過紅外池進行檢測，低氧通過長程紅外池檢測，高氧通過短程紅外池檢測。
水(由氫轉化而來)也進入紅外池進行檢測。
二氧化碳和水的紅外線能量在光譜范圍中有精確的波長，這種特征波長的紅外線在氣體通過紅外池時被吸收，從而使光能的強度降低，反映為紅外池電壓輸出的降低，再經過積分就可以得到氧和氫兩個元素的百分含量。
氮含量通過熱導池進行檢測，氮氣和參考氣體氦氣同時進入熱導池，由于兩種氣體的熱導系數(即相同流量下帶走熱量的不同)的差異，使得惠斯頓電橋的輸出產生變化，從而實現氮含量的測定。
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