手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
金屬靶材是一種在物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）等薄膜沉積技術中作為鍍膜材料源的金屬或金屬合金塊。它們通常由單一金屬元素或多種金屬元素按照一定比例合成，有時也包含非金屬成分，以提供特定的物理、化學性能，滿足多樣化的應用需求。
主要分為以下幾類：
1、純金屬靶材：由單一金屬元素構成，如銅（Cu）、鋁（Al）、金（Au）等，特點是高純度，能夠滿足特定高科技領域的要求。
2、合金靶材：由兩種或兩種以上的金屬元素合成，例如銅銦鎵硒（CIGS）合金靶材，用于薄膜太陽能電池的生產。
3、復合金屬靶材：由金屬與非金屬或多種金屬和非金屬復合而成，這類靶材在特定功能性薄膜的制備中具有重要應用。
金屬靶材的特性:
金屬靶材的主要特性包括純度、密度、粒度分布等。純度是衡量金屬靶材質量的首要標準，通常要求99.9%以上，對于某些高_端應用領域，如半導體制造，甚至需要達到99.999%的超高純度。高純度能夠確保薄膜的均一性和穩定性，減少雜質的干擾。靶材的密度應盡可能接近理論密度，這有助于提高濺射率和薄膜的均勻性。均勻的粒度分布有助于提高濺射過程的穩定性和薄膜的均勻性。
應用領域:
金屬靶材在微電子和半導體制造領域主要用于薄膜沉積技術，包括濺射鍍膜和蒸發鍍膜，以形成電路板上的導電路徑、電阻層、絕緣層等關鍵組成部分。在光伏產業中，金屬靶材用于形成電池的導電層和反射層，這些層對提高太陽能電池的光電轉換效率至關重要。此外，金屬靶材還被廣泛應用于醫療設備、航空航天、汽車制造等領域，用于制造各種功能性涂層。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心