日本進口日酸TANAKA半導體壓力調節器高壓閥S-TORRV2300系列 STⅤ2300-4WE-B5G03G-4UB4UB-D

適用于半導體、液晶、太陽能電池等各種半導體材料氣體的減壓。

產品范圍廣泛，從高壓到微減壓，以及高純度和腐蝕性氣體。

●S-TORR調節器是在半導體工藝氣體生產線中備受信賴的TORR調節器基礎上開發的超高純度氣體用壓力調節器。

●通過排除氣體接觸部的螺紋結構，標準實施電解研磨，實現了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結構。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●在一次室的流路內置過濾器，減少了內部泄漏的發生。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●STV2300系列作為一次高壓用中流量機型，廣泛用于氣缸箱等一次減壓設備。

●作為腐蝕性氣體使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。請聯系我們。